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日盲紫外探测器及其制备方法、以及日盲紫外探测方法.pdf
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一吃****仪凡
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本申请提供一种日盲紫外探测器及其制备方法、以及日盲紫外探测方法，属于日盲紫外探测技术领域。探测器包括：高阻非晶氧化镓层，氧空位浓度和致密度可在1～2sccm的氧流量条件下磁控溅射沉积，厚度15～30nm，有相对的第一和第二表面；低阻非晶氧化镓层，氧空位浓度和致密度可在不高于0.2sccm的氧流量条件下磁控溅射沉积，连接于第一表面；收集电极，有分别与第二表面连接的第一和第二电极。探测方法采用探测器，包括：在20～100V的工作电压下进行探测；或每次探测后转换电压正负性。探测器作为两端结构可兼具高的响应度和低
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