日盲紫外型探测器和日盲紫外型探测系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109443534A(43)申请公布日2019.03.08(21)申请号201811613455.5(22)申请日2018.12.27(71)申请人浙江天衡五维电子科技有限公司地址310012浙江省杭州市余杭区五常街道文一西路998号5幢807A、807B(72)发明人李志鹏楼日明全丽丽(74)专利代理机构广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)44288代理人胡拥军糜婧(51)Int.Cl.G01J1/42(2006.01)G01J1/04(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称日盲紫外型探测器和日盲紫外型探测系统(57)摘要本发明公开了日盲紫外型探测器和日盲紫外型探测系统，涉及光电探测领域。该日盲紫外型探测器包括外壳，还包括依次间隔设置且与外壳连接的光阴极、微通道板组和多通道阳极，外壳内具有真空腔，微通道板组包括至少两块设于真空腔内的微通道板；光阴极、微通道板和阳极均设有电连接端子，电连接端子另一端穿过外壳，用于与外部电源连接；阳极上具有若干个电子接收区；阳极还设有与电子接收区电连接的引脚，引脚用于与外部的模数转换器连接；该日盲紫外型探测系统包括上述日盲紫外型探测器，还包括紫外光采集模块、模数转换器和信息处理终端。本发明具有灵敏度高、空间分辨率高、时间分辨率高和有利于信号处理的优点。CN109443534ACN109443534A权利要求书1/2页1.日盲紫外型探测器，其特征在于：包括外壳，还包括依次间隔设置且与所述外壳连接的光阴极、微通道板组和阳极，所述外壳内具有真空腔，所述微通道板组包括至少两块设于所述真空腔内的微通道板；所述光阴极、所述微通道板和所述阳极均设有电连接端子，所述电连接端子另一端穿过所述外壳，用于与外部电源连接；所述光阴极用于接收日盲紫外光并产生光电子；所述微通道板用于接收光电子并产生增殖光电子；所述阳极上具有若干个电子接收区，所述电子接收区用于接收由所述微通道板发出的光电子；所述阳极还设有与电子接收区电连接的引脚，所述引脚用于与外部的模数转换器连接。2.如权利要求1所述的日盲紫外型探测器，其特征在于：所述阳极包括绝缘基底、金属铬镀层和所述引脚，所述金属铬镀层与所述绝缘基底相接，所述绝缘基底与所述外壳连接用于封闭所述真空腔，所述金属铬镀层设于所述真空腔内，所述金属铬镀层上设有均匀分布的若干所述电子接收区。3.如权利要求1所述的日盲紫外型探测器，其特征在于：还包括透光板，所述透光板与所述外壳连接并用于封闭所述真空腔，所述透光板接近所述真空腔的一侧设有所述光阴极。4.如权利要求1所述的日盲紫外型探测器，其特征在于：所述微通道板组包括第一微通道板和第二微通道板；还包括抽头式电源，所述抽头式电源包括多个抽头，且每个所述抽头之间具有电压压差，所述光阴极、所述第一微通道板的两侧、所述第二微通道板的两侧和所述阳极分别通过所述电连接端子与不同的所述抽头连接，在所述真空腔内，产生由所述阳极指向所述光阴极方向的电场。5.如权利要求4所述的日盲紫外型探测器，其特征在于：所述光阴极与所述第一微通道板之间具有10V的电势差，所述第一微通道板与所述第二微通道板之间具有100V的电势差，所述第二微通道板与所述阳极之间具有50V的电势差。6.如权利要求1-5任一项所述的日盲紫外型探测器，其特征在于：所述光阴极包括抗反射层和激发层；所述激发层接近所述微通道板组设置。7.如权利要求6所述的日盲紫外型探测器，其特征在于：所述抗反射层为SiO抗反射层，所述激发层包括依次设置的AlGaAs缓冲层、GaAs活性层和CsO活化涂层，所述CsO活化涂层接近所述微通道板设置。8.如权利要求1-5任一项所述的日盲紫外型探测器，其特征在于：还包括设于所述微通道板组与所述阳极之间的补偿电极，所述补偿电极为环形电极，所述补偿电极用于与外部的模数转换器电连接；所述补偿电极的内壁具有补偿接收面，所述补偿接收面用于接收光电子。9.如权利要求8所述的日盲紫外型探测器，其特征在于：所述补偿电极与所述微通道板、所述阳极同轴设置，所述补偿电极的内径大于或等于所述微通道板的直径。10.日盲紫外型探测系统，包括如权利要求1-9任一项所述的日盲紫外型探测器，其特征在于：还包括紫外光采集模块、模数转换器和信息处理终端；2CN109443534A权利要求书2/2页所述紫外光采集模块用于接收紫外光并将紫外光投射于所述日盲紫外型探测器，所述日盲紫外型探测器用于将光信号转化成若干路模拟信号并将模拟信号由引脚传输至所述模数转换器，所述模数转换器用于将模拟信号转换成数字信号并将转换值传入信息处理终端；所述信息处理终端用于接收所述转换值并对其进行分析计算以实现对信号源的定位分析。3CN1094