一种片状晶圆加工用载具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112536717A(43)申请公布日2021.03.23(21)申请号202011384480.8(22)申请日2020.12.01(71)申请人林斌发地址230000安徽省合肥市黄山路468号通和大厦B座(72)发明人林斌发(51)Int.Cl.B24B41/06(2012.01)B24B47/12(2006.01)B24B41/00(2006.01)B24B29/02(2006.01)H01L21/687(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图8页(54)发明名称一种片状晶圆加工用载具(57)摘要本发明公开了一种片状晶圆加工用载具，其结构包括固定底座、装载装置、支撑架，固定底座上表面与装载装置底部相焊接，支撑架下端与固定底座上表面相固定，通过缩软管进行伸缩缓冲，提高限位环与旋转盘之间的牢固性，转动球能够在限位环内部进行平稳的滑动，旋转盘带动了晶圆进行平稳的离心转动，晶圆在进行离心转动的过程中能够与抵触板进行抵触，通过橡胶条提高抵触力，避免晶圆在进行装夹离心转动的过程中发生浮动，通过转动底板转动带动了连接盘进行转动，旋转盘在进行转动的过程中，通过弹簧起到一定的缓冲作用，通过转动过程中滑动球保持位置不变，而连接盘外侧的支架带动了导向环在滑动球内部进行平稳转动，避免晶圆抛光加工时抛光过度。CN112536717ACN112536717A权利要求书1/1页1.一种片状晶圆加工用载具，其结构包括固定底座(1)、装载装置(2)、支撑架(3)，所述固定底座(1)上表面与装载装置(2)底部相焊接，所述支撑架(3)下端与固定底座(1)上表面相固定，所述支撑架(3)上端与装载装置(2)上端相焊接，其特征在于：所述装载装置(2)包括放置装置(21)、抛光垫(22)、旋转盘(23)、固定外壳(24)、旋转装置(25)，所述放置装置(21)位于旋转盘(23)上端，并且旋转盘(23)上表面设有抛光垫(22)，所述旋转盘(23)下端采用间隙配合安装在固定外壳(24)上端内部，所述旋转装置(25)位于固定外壳(24)内部，并且固定外壳(24)上端与旋转盘(23)底部相固定。2.根据权利要求1所述的一种片状晶圆加工用载具，其特征在于：所述放置装置(21)包括限位环(211)、连接机构(212)、防偏移机构(213)，所述连接机构(212)上端采用间隙配合安装于限位环(211)下端内部，所述连接机构(212)下端与旋转盘(23)上表面相焊接，所述防偏移机构(213)设在限位环(211)内部。3.根据权利要求2所述的一种片状晶圆加工用载具，其特征在于：所述连接机构(212)包括伸缩软管(12a)、固定柱(12b)、转动球(12c)，所述伸缩软管(12a)下端固定安装在旋转盘(23)上表面，所述伸缩软管(12a)上端与固定柱(12b)下端相固定，所述固定柱(12b)上端采用间隙配合安装在转动球(12c)内部，所述转动球(12c)外侧与限位环(211)下端内部滑动连接。4.根据权利要求2所述的一种片状晶圆加工用载具，其特征在于：所述防偏移机构(213)包括压簧(13a)、滑动块(13b)、抵触板(13c)，所述压簧(13a)固定安装在限位环(211)内部，并且压簧(13a)下端与滑动块(13b)上端相焊接，所述滑动块(13b)采用间隙配合安装在限位环(211)内部，并且滑动块(13b)一端与抵触板(13c)外侧端相焊接，所述抵触板(13c)位于限位环(211)内侧。5.根据权利要求4所述的一种片状晶圆加工用载具，其特征在于：所述抵触板(13c)包括板体(c1)、橡胶条(c2)，所述板体(c1)外侧端与滑动块(13b)相焊接，并且板体(c1)底面紧密贴合有橡胶条(c2)。6.根据权利要求1所述的一种片状晶圆加工用载具，其特征在于：所述旋转装置(25)包括马达(251)、转动底板(252)、弹簧(253)、平稳机构(254)，所述马达(251)输出端与转动底板(252)底部中端相焊接，所述转动底板(252)上表面与弹簧(253)下端相焊接，并且弹簧(253)上端与旋转盘(23)底部相固定，所述平稳机构(254)固定安装在固定外壳(24)内壁，并且平稳机构(254)采用间隙配合安装在转动底板(252)与旋转盘(23)连接间隙处。7.根据权利要求6所述的一种片状晶圆加工用载具，其特征在于：所述平稳机构(254)包括连接盘(54a)、支架(54b)、滑动球(54c)、导向环(54d)，所述连接盘(54a)下端与转动底板(252)上表面相固定，并且连接盘(54a)上端与旋转盘(23)底部相固定，所述连接盘(54a)外侧焊接有支架(54b)，所述支架(54b)外侧端与导向环(54d)内侧端相焊