用于真空腔室的部件、真空腔室和制造排气孔的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112368796A(43)申请公布日2021.02.12(21)申请号201880095141.2(51)Int.Cl.(22)申请日2018.06.28H01J37/32(2006.01)H01J37/34(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日C23C16/44(2006.01)2020.12.28G03F7/20(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2018/0674342018.06.28(87)PCT国际申请的公布数据WO2020/001775EN2020.01.02(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人奥利弗·海默尔莱内尔·欣特舒斯特(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司11006代理人徐金国赵静权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称用于真空腔室的部件、真空腔室和制造排气孔的方法(57)摘要描述一种用于真空腔室(500)的部件(502)。所述部件包括第一表面(232)和设置在所述第一表面中的盲孔(210)。所述部件进一步包括设置在所述第一表面中并且部分地与所述盲孔重叠的排气孔(220)。CN112368796ACN112368796A权利要求书1/1页1.一种用于真空腔室的部件，包括：第一表面；盲孔，设置在所述第一表面中；和排气孔，设置在所述第一表面中并且部分地与所述盲孔重叠。2.根据权利要求1所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述盲孔具有第一体积并且所述排气孔具有第二体积，并且其中所述第二体积部分地与所述第一体积重叠。3.根据权利要求1至2中任一项所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述盲孔具有从所述第一表面延伸的第一方向并且所述排气孔具有从所述第一表面延伸的第二方向，并且其中所述第一方向与所述第二方向之间的角度是30°或低于30°。4.根据权利要求3所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述第一方向与所述第二方向平行。5.根据权利要求1至4中任一项所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述盲孔具有有第一周长的横截面，并且所述排气孔在所述第一周长的约20％或低于20％上与所述盲孔重叠。6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述盲孔是圆形的并且所述排气孔是圆形的。7.根据权利要求6所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述排气孔的所述直径小于所述盲孔的所述直径。8.根据权利要求1至7中任一项所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述盲孔和所述排气孔具有沿着垂直于所述第一表面的方向的基本相同的尺寸，和/或其中所述盲孔和所述排气孔具有基本相同的制造深度。9.根据权利要求1至8中任一项所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述盲孔被构造成接纳销，特别是圆柱形销。10.根据权利要求1至8中任一项所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述盲孔包括螺纹和/或被构造成接纳螺钉和/或带螺纹的插入件，特别是螺旋线圈。11.根据权利要求1至10中任一项所述的用于所述真空腔室的部件，其中所述排气孔具有在沿着所述第一表面的第三方向上的分支。12.一种真空腔室，包括：根据权利要求1至11中任一项所述的用于所述真空腔室的部件。13.根据权利要求12所述的真空腔室，其中所述部件是所述真空腔室的壁并且所述第一表面面向所述真空腔室的内部。14.一种制造排气孔的方法，包括：在部件的第一表面中加工出排气孔；和在所述第一表面中加工出盲孔，所述盲孔部分地与所述排气孔重叠。15.根据权利要求14所述的方法，进一步包括：在第一定向中在机床中夹紧所述部件，其中在所述第一定向中提供所述盲孔的所述加工和所述排气孔的所述加工。2CN112368796A说明书1/5页用于真空腔室的部件、真空腔室和制造排气孔的方法技术领域[0001]本公开内容的实施方式涉及用于真空腔室的部件，尤其是其中部件包括一个或多个盲孔。本公开内容的实施方式尤其涉及用于盲孔的排气孔的布置和加工。具体地，实施方式涉及用于真空腔室的部件、真空腔室和制造排气孔的方法。背景技术[0002]真空腔室常常用于提供高等级纯度的应用。因此，如果用于真空腔室的部件不会将污染引入到真空中，那么是有益的。例如，污染源可以是部件中的盲孔。例如，当在抽空真空腔室前将螺钉或螺栓引入到盲孔中时，污染或气体可能会截留在盲孔内部。随着时间的过去，截留的杂质或气体可能随后被释放到真空中。[0003]尤其是用于制造在大面积基板上的装置，例如显示器，可能使用具有大的表面积和对应的大量盲孔的真空腔室。因此，对于大面积基板处理，盲孔的排气可能导致考虑相关的方面。这对于制造在真空污染变得越来越严重的装置和应用上的较小的结构来说变得越来越重要。[0004]为了解决这个问题，连接盲孔的体