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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114449765A(43)申请公布日2022.05.06(21)申请号202210053581.X(22)申请日2022.01.18(71)申请人深圳恒宝士线路板有限公司地址518000广东省深圳市宝安区福永镇下十围村第一工业区南侧(72)发明人张双林姚建军(74)专利代理机构深圳市知高达专利代理有限公司44869专利代理师李喆(51)Int.Cl.H05K3/00(2006.01)H05K3/06(2006.01)H05K3/28(2006.01)H05K3/26(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图1页(54)发明名称一种替代激光制作盲孔的HDI板制作方法(57)摘要本发明涉盲埋孔PCB制作技术领域,且公开了一种替代激光制作盲孔的HDI板制作方法,包括以下步骤:S1:开料:对无覆铜芯板进行开料,按工艺要求裁切制得所需尺寸的内层芯板;S2:内层涂布:将内层芯板铜箔表面粗化清洁,并在无尘环境在均匀涂上一层感光抗蚀涂层,涂层厚度10um;S3:预烤:将涂层烘干,从30℃升温至120℃,升温时间为8‑10s,并在120‑135℃的环境下烘烤2min。该替代激光制作盲孔的HDI板制作方法,能够解决目前盲孔制作有赖于激光钻孔机成孔,此种设备价格昂贵,外包则费用和交期长,按次序打孔,在孔比较多时,成本也较高,成孔形状与能量相关,大多为锥形孔,一些中小企业只得外发加工,影响交货期的问题。CN114449765ACN114449765A权利要求书1/2页1.一种替代激光制作盲孔的HDI板制作方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:开料:对无覆铜芯板进行开料,按工艺要求裁切制得所需尺寸的内层芯板;S2:内层涂布:将内层芯板铜箔表面粗化清洁,并在无尘环境在均匀涂上一层感光抗蚀涂层,涂层厚度10um;S3:预烤:将涂层烘干,从30℃升温至120℃,升温时间为8‑10s,并在120‑135℃的环境下烘烤2min;S4:曝光:按客户给定的图案进行曝光;S5:显影蚀刻退膜:对已进行曝光的基板进行显影,未曝光部分会被1%的碳酸钠所溶解,已曝光部分则不会,溶解部分露出铜箔,在蚀刻段被氯化铜蚀刻液蚀刻,已曝光部分在退膜段进行褪除,使用药水主要为片碱退膜液;S6:一次AOI:对已蚀刻的基板两面线路进行自动光学检查、修理;S7:棕化:对经检查的铜箔线路使用硫酸、双氧水、棕化液进行氧化、粗糙,为后续与胶片增加结合力;S8:压合:将内层芯板与背胶铜箔在高温高压下使其粘合成一体;S9:涂膜预烤:将感光湿膜均匀涂布在经清洁粗化的铜面,随后在120‑135℃下烘干2‑3min;S10:曝光显影:将盲孔的图案进行曝光,并经显影,有盲孔处将露出铜箔;S11:蚀刻退膜:将盲孔处露出铜箔使用氯化铜蚀刻液进行蚀刻,并在退膜段将曝光处的膜退除;S12:蚀胶:对盲孔处蚀铜后露出胶区使用浓硫酸进行膨松、咬蚀,由常温98%工业硫酸对胶进行咬蚀,时间15‑20min;S13:磨板喷砂:对已经膨松、咬蚀的区域进行机械针刷清理,形成位置与蚀铜点一样、孔口上下大小一致、露出清洁内层铜箔的盲孔,确保盲孔的形状及底部铜箔的无杂质,方便后续加工成导通盲孔;S14:钻通孔:使用钻机,用编好程式的钻带,取对应直径的钻头以特定转速成孔;S15:PTH:通孔、盲孔上化学沉积上一层薄铜,为后续电镀加厚提供导电层;S16:外层干膜:外层铜箔经粗化、清洁后压上感光干膜,并经曝光显影,形成待镀铜面与抗镀干膜图形;S17:图形镀铜锡:经显影后的板使用龙门电镀线进行加厚镀铜电锡;S18:退膜蚀刻退锡:电镀后的板,先进行退膜,露出铜箔,在蚀刻段使用氯化铜蚀刻液进行蚀刻,再到退锡段进行退锡;S19:二次AOI:对已退膜蚀刻退锡的基板两面线路进行自动光学检查、修理;S20:防焊文字:整板进行湿膜涂布丝印并经烘干,对位曝光显影,丝印文字并经最终烘烤固化;S21:表面处理:铜盘上进行清洁后涂覆一层保护层;S22:成型:大板进行切割,形成客户需要的形状;S23:清洗:对表面粉尘、氧化进行清除;S24:测试:使用特定测试治具进行开短路检测S25:外观检查:对照客户原始图纸对基板外观进行合规性检验。2CN114449765A权利要求书2/2页2.根据权利要求1所述的一种替代激光制作盲孔的HDI板制作方法,其特征在于:所述S4中,使用菲林或激光成像对图案进行曝光。3.根据权利要求1所述的一种替代激光制作盲孔的HDI板制作方法,其特征在于:所述S8中,内层芯板与背胶铜箔之间设有无玻璃纤维的胶体。4.根据权利要求1所述的一种替代激光制作盲孔的HDI板制作方法,其特征在于:所述S10中,将盲孔的图案正片进行曝光。5.根据权利要求1所述的一种替代激光制作盲孔的HDI板制作方法,