红外探测器杜瓦的真空特性检测装置及方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109506785A(43)申请公布日2019.03.22(21)申请号201811563095.2(22)申请日2018.12.20(71)申请人中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））地址510610广东省广州市天河区东莞庄路110号(72)发明人杨少华恩云飞黄云赖灿雄吴福根(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人关志琨(51)Int.Cl.G01J5/02(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称红外探测器杜瓦的真空特性检测装置及方法(57)摘要本发明涉及一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，包括：穿刺针、穿刺管道及质谱仪；穿刺针内部开设有通路，穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃后，与红外探测器杜瓦内部气体连通，以采集红外探测器杜瓦内部的气体；穿刺管道的一端与穿刺针内部的通路连通，另一端与质谱仪连通，用于将穿刺针采集的气体输送至质谱仪；质谱仪用于对穿刺管道输送的穿刺针采集的气体进行检测，以得到红外探测器杜瓦的真空特性。本发明利用穿刺针穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃，采集红外探测器杜瓦内部的气体，将采集到的气体通过穿刺管道输送至质谱仪，质谱仪对采集到的气体进行检测，能够直接得到红外探测器杜瓦的真空特性。CN109506785ACN109506785A权利要求书1/2页1.一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，包括：穿刺针、穿刺管道及质谱仪；所述穿刺针内部开设有通路，所述穿刺针用于穿透红外探测器杜瓦的光窗玻璃后，与所述红外探测器杜瓦内部气体连通，以采集所述红外探测器杜瓦内部的气体；所述穿刺管道的一端与所述穿刺针内部的通路连通，另一端与所述质谱仪连通，用于将所述穿刺针采集的气体输送至所述质谱仪；所述质谱仪用于对所述穿刺管道输送的所述穿刺针采集的气体进行检测，以得到所述红外探测器杜瓦的真空特性。2.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，还包括真空罩；所述真空罩用于罩设于所述红外探测器杜瓦的光窗玻璃上，所述穿刺针设置于所述真空罩内部；所述真空罩上设置有密封阀；所述密封阀一端与所述穿刺针连通，另一端位于所述真空罩外部，用于驱动所述穿刺针穿透所述红外探测器杜瓦的光窗玻璃；所述密封阀上设置有抽气孔；所述穿刺管道穿过所述抽气孔，与所述密封阀内部连通，以连通所述穿刺针。3.根据权利要求2所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，所述密封阀与所述穿刺针通过螺纹结构进行旋接。4.根据权利要求2或3任一项所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，还包括抽气管道及真空泵；所述抽气管道分别连通所述质谱仪、所述真空泵，且所述抽气管道与所述穿刺管道通过所述质谱仪连通；所述真空泵用于对所述真空罩进行抽真空处理。5.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，所述质谱仪为四极质谱仪。6.根据权利要求4所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，所述真空泵为分子泵。7.根据权利要求4所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测装置，其特征在于，还包括计算机设备；所述计算机设备与所述质谱仪电性连接，用于接收所述质谱仪的检测结果，并分析所述质谱仪的检测结果，判断所述红外探测器杜瓦真空度劣化的原因。8.一种红外探测器杜瓦的真空特性检测方法，其特征在于，包括：对红外探测器杜瓦进行烘烤处理；通过穿刺针穿刺所述红外探测器杜瓦的光窗玻璃，对所述红外探测器杜瓦内的气体进行采集；通过穿刺管道，将所述穿刺针采集的气体输送至所述质谱仪；通过所述质谱仪对所述穿刺针采集的气体进行检测，得到所述红外探测器杜瓦的真空特性。2CN109506785A权利要求书2/2页9.根据权利要求8所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测方法，其特征在于，通过所述穿刺针对所述红外探测器杜瓦的光窗玻璃穿刺前，还包括：对所述红外探测器杜瓦的光窗玻璃进行局部减薄处理，以形成穿刺部供所述穿刺针进行穿刺。10.根据权利要求8或9任一项所述的红外探测器杜瓦的真空特性检测方法，其特征在于，还包括：通过计算机设备对所述质谱仪的检测结果进行分析，得到所述红外探测器杜瓦的真空度劣化原因。3CN109506785A说明书1/5页红外探测器杜瓦的真空特性检测装置及方法技术领域[0001]本发明涉及红外焦平面阵列探测器技术领域，特别是涉及一种红外探测器杜瓦的真空特性检测装置、检测方法及真空度劣化原因检测方法。背景技术[0002]对于大部分红外焦平面阵列探测器(简称红外探测器)的材料，需要在低温下抑制噪声才能正常工作，工作温度一般需要低至60K～90K，因此，红外探测器包括红外探测器