一种红外探测器杜瓦.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114397023A(43)申请公布日2022.04.26(21)申请号202210037757.2(22)申请日2022.01.13(71)申请人浙江珏芯微电子有限公司地址323000浙江省丽水市莲都区南明山街道石牛路268号1幢B座307室(72)发明人段煜程明亮熊雄毛剑宏(74)专利代理机构上海申新律师事务所31272代理人林志豪(51)Int.Cl.G01J5/04(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称一种红外探测器杜瓦(57)摘要本发明公开了一种红外探测器杜瓦，包括主筒和设于主筒内的冷指气缸，其中，主筒和冷指气缸之间形成环形空间，其中，包括：隔离盘，隔离盘设于主筒和冷指气缸之间；吸气剂，吸气剂为截面呈环形的柱状结构，吸气剂包括烧结一体的吸气剂本体和吸气剂环状结构，吸气剂环状结构与隔离盘固定连接。本发明的结构允许采用尺寸远大于现有的普遍使用的柱状吸气剂的环状吸气剂，其吸气效率更高，可保证杜瓦组件更长的真空寿命。本发明不需要利用紧固环和支撑片进行固定，减少了人工操作，提升了工艺效率。CN114397023ACN114397023A权利要求书1/2页1.一种红外探测器杜瓦，包括主筒和设于所述主筒内的冷指气缸，其中，所述主筒和所述冷指气缸之间形成环形空间，其特征在于，包括：隔离盘，所述隔离盘设于所述主筒和所述冷指气缸之间；吸气剂，所述吸气剂为台阶式一体吸气剂，所述吸气剂为截面呈环形的柱状台阶式结构，所述吸气剂包括吸气剂本体和在所述吸气剂本体上烧结一体的吸气剂环状结构，所述吸气剂环状结构为凸出金属环状结构，所述吸气剂环状结构与所述隔离盘固定连接。2.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，还包括：冷指基座，所述冷指基座上设有所述主筒；窗口部件，所述窗口部件设于所述主筒的上端；引线环，所述引线环设于所述窗口部件和所述主筒之间；冷屏部件，所述冷屏部件设于所述冷指气缸的上端，所述冷屏部件设于所述窗口部件和/或所述主筒的内部。3.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，所述主筒的内部形成有吸气剂安装限位槽。4.根据权利要求3所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，还包括：限位环，所述限位环形成所述吸气剂安装限位槽，所述限位环固定于所述主筒的内壁，所述限位环为金属环，所述限位环与所述主筒为一体式结构，所述限位环的内壁的半径小于所述吸气剂本体的外径1‑20mm。5.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，所述隔离盘包括：盘状结构，所述盘状结构的中部开设有孔，所述盘状结构的外缘抵于所述主筒的内表面，所述盘状结构的内缘与所述冷指气缸的外表面之间的距离为2‑30mm；隔离盘环状结构，所述隔离盘环状结构的上端与所述盘状结构相连接。6.根据权利要求1所属的红外探测器杜瓦，其特征在于，所述吸气剂本体的内径比所述冷指气缸的外径大1‑30mm。7.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，所述吸气剂环状结构与所述隔离盘环状结构通过焊接的方式相连。8.根据权利要求5所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，所述吸气剂环状结构的尺寸与所述隔离盘环状结构的尺寸相匹配；其中，所述吸气剂金属环状结构的内径与所述隔离盘环状结构的外径相匹配；和/或，所述吸气剂金属环状结构的外径与所述隔离盘环状结构的内径相匹配；和/或，所述吸气剂环状结构的上端抵于所述盘状结构的下表面。9.根据权利要求5所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，所述吸气剂环状结构的高度大于所述隔离盘环状结构的高度，所述吸气剂环状结构的高度与所述隔离盘环状结构的高度之差大于1mm。10.根据权利要求5所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，所述隔离盘环状结构的外壁与所述主筒之间的距离为1‑30mm，所述隔离盘环状结构的内壁与所述冷指气缸之间的距离为1‑35mm。11.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，还包括：第一电极丝、第二电极丝和绝缘子，所述第一电极丝和所述第二电极丝的一端设于所述吸气剂本体的内部，所2CN114397023A权利要求书2/2页述第一电极丝和所述第二电极丝的另一端分别与两所述绝缘子相连接。12.根据权利要求11所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，每一所述绝缘子的至少一部分贯穿所述主筒并突出于所述主筒的外部。13.根据权利要求1所述的红外探测器杜瓦，其特征在于，所述吸气剂环状结构与所述隔离盘采用相同的金属材料。3CN114397023A说明书1/5页一种红外探测器杜瓦技术领域[0001]本发明涉及内红外探测器的技术领域，尤其涉及一种红外探测器杜瓦。背景技术[0002]随着制冷红外探测器向大面阵方向发展，芯片尺寸增大，封装杜瓦的尺寸也将随之增加，这对杜瓦真空度保持提出了更高