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碱性蚀刻废液再生回用的方法及其设备.pdf
2023-06-26
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碱性蚀刻废液再生回用的方法及其设备.pdf
本发明公开一种碱性蚀刻废液再生回用的方法，包括以下步骤：使用电解反应槽，所述电解反应槽中设置电解分隔物，形成阳极区和阴极区，所述电解分隔物能在电场作用力下有效减少甚至阻止阴极电解液中的阴离子向阳极区迁移；所述阳极区和阴极区分别盛放有阳极电解液和阴极电解液；所述阳极电解液为二氧化碳发生原料的水溶液，或者二氧化碳发生原料与氨的水溶液；所述阴极电解液为碱性蚀刻废液，或者其与水和/或碱性蚀刻子液和/或再生蚀刻子液的混合液；电解过程中向所述阳极电解液补充所述二氧化碳发生原料。该方法无需引入有机萃取剂，且在电解过程中
2023-06-26
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