一种酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备及其方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105420732A(43)申请公布日2016.03.23(21)申请号201610024964.9(22)申请日2016.01.13(71)申请人惠州市臻鼎环保科技有限公司地址516057广东省惠州市惠城区马安镇新湖工业开发区(72)发明人刘剑锋王志刚李强叶进福梁浩鹏刘剑波(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315代理人许志勇(51)Int.Cl.C23F1/46(2006.01)C25C1/12(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称一种酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备及其方法(57)摘要本发明涉及一种酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备及其方法，其包括中转循环装置、连接中转循环装置的离心电解装置及连接离心电解装置的真空氯气吸收装置，其中离心电解装置包括外管体、设置于外管体内并分隔外管体为阴极区及阳极区的筒形离子交换膜及设置于阳极区的阳极棒，外管体具有进液口、出液口及氯气交换口，中转循环装置连接进液口及出液口，真空氯气吸收装置连接氯气交换口,相连接的离心电解装置、中转循环装置及真空氯气吸收装置的内部空间为密闭空间。本申请的设备有效杜绝各种废液及废气泄漏，改善设备现场环境及维护员工身体健康，也可避免设备外的零组件直接或间接接触到废液及废气而发生腐蚀损坏。CN105420732ACN105420732A权利要求书1/2页1.一种酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备，其特征在于，包括：中转循环装置；离心电解装置，连接所述中转循环装置；以及真空氯气吸收装置，连接所述离心电解装置；其中所述离心电解装置包括外管体、筒形离子交换膜及阳极棒，所述筒形离子交换膜设置于所述外管体内，并分隔所述外管体为阴极区及阳极区，所述阳极棒设置于所述阳极区，所述外管体具有进液口、出液口及氯气交换口，所述进液口及出液口连通所述阴极区，所述氯气交换口连通所述阳极区，所述中转循环装置连接所述进液口及出液口，所述真空氯气吸收装置连接所述氯气交换口,相连接的所述离心电解装置、中转循环装置及真空氯气吸收装置的内部空间为密闭空间。2.根据权利要求1所述的酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备，其特征在于，所述离心电解装置还包括底座及盖体，所述底座设置于所述外管体的底部，并具有锥状导流结构，所述锥状导流结构的顶部抵接于所述筒形离子交换膜的底部；所述盖体设置于所述外管体的顶端，并具有气体收集结构，所述气体收集结构的底部连接所述筒形离子交换膜的顶部，所述气体收集结构的顶部连接所述氯气交换口。3.根据权利要求1所述的酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备，其特征在于，所述中转循环装置包括废液储存腔及再生液储存腔，所述废液储存腔连接所述进液口，所述再生液储存腔连接所述出液口,所述废液储存腔与所述进液口间更设有泵浦。4.根据权利要求1所述的酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备，其特征在于，所述真空氯气吸收装置还包括真空泵及反应槽，所述真空泵连接所述氯气交换口及所述反应腔。5.根据权利要求1所述的酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备，其特征在于，所述外管体及阳极棒的材料为钛金属。6.根据权利要求1所述的酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备，其特征在于，还包括流量分配件,所述流量分配件设置于所述外管体内,并位于所述阴极区的底部,且位于所述进液口的上方。7.一种使用如权利要求1所述的酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备的方法，其特征在于，包括所述中转循环装置提供氯化铜蚀刻废液至所述外管体的阴极区及阳极区；施加电流至所述外管体及阳极棒，并对所述氯化铜蚀刻废液产生电解反应；所述氯化铜蚀刻废液的铜离子位于所述阴极区并还原反应为铜金属，且沈积于所述外管体的内侧壁；所述氯化铜蚀刻废液的氯离子通过所述筒形离子交换膜进入所述阳极区，并经氧化反应为氯气；所述真空氯气吸收装置抽取所述阳极区的氯气；以及所述阴极区产生氯化铜蚀刻再生液,所述氯化铜蚀刻再生液流至所述中转循环装置。8.一种使用如权利要求2所述的酸性氯化铜蚀刻废液再生回收设备的方法，其特征在于，包括所述中转循环装置提供加压的氯化铜蚀刻废液至所述外管体的锥状导流结构,所述氯化铜蚀刻废液沿著所述阳极棒作离心旋转流动并进入阴极区及阳极区；施加电流至所述外管体及阳极棒，并对所述氯化铜蚀刻废液产生电解反应；所述氯化铜蚀刻废液的铜离子位于所述阴极区并还原反应为铜金属，并沈积于所述外管体的内侧壁；所述氯化铜蚀刻废液的氯离子通过所述筒形离子交换膜进入所述阳极区，并经氧化反应为氯气；所述真空氯气吸收装置抽取所述阳极区的氯气；以及所述阴极区产生氯化铜蚀刻再生液,所述氯化2CN105420732A权利要求书2/2页铜蚀刻再生液流至所述中转循环装置。9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述阳极