用于检查部件的组件和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110100175A(43)申请公布日2019.08.06(21)申请号201780081568.2(51)Int.Cl.(22)申请日2017.02.02G01N21/956(2006.01)H05K13/08(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2019.06.28(86)PCT国际申请的申请数据PCT/IB2017/0505632017.02.02(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/142188EN2018.08.09(71)申请人伊斯梅卡半导体控股公司地址瑞士拉绍德封(72)发明人J.帕拉特P.阿布瑞尔T.艾默(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公司72001代理人吴超谭祐祥权利要求书3页说明书15页附图6页(54)发明名称动到焦点上。用于检查部件的组件和方法(57)摘要根据本发明，提供了一种使用组件来检查部件（10）的方法，该组件包括：相机（3），其具有固定位置；以及可移动载物台（5），其中，该可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线（7）旋转并且可以沿两条线性轴线（9a、9b）线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于旋转轴线，该方法包括以下步骤：（a）在载物台上提供呈预定取向的第一部件，使得部件的第一侧部面向相机；（b）使载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将第一部件的第一侧部移动到相机的焦点上；（c）在第一部件的第一侧部已被移动到相机的焦点上之后，捕获第一侧部的图像。还提供了根据上文的组件，其附加地包括处理器，该处理器被构造成确定部件的图像是否在相机的焦点上，如果不在相机的焦点上，就确定可移动载物台的移动并启动可移动载物CN110100175A台以经历所确定的所述移动以便将所述部件移CN110100175A权利要求书1/3页1.一种使用组件来检查部件的方法，所述组件包括：相机，其具有固定位置；以及可移动载物台，其中，所述可移动载物台被构造成使得其可以围绕旋转轴线旋转并且可以沿两条线性轴线线性地移动，其中，所述两条线性轴线彼此垂直，并且其中，所述两条线性轴线两者各自垂直于所述旋转轴线，所述方法包括以下步骤：在所述载物台上提供呈预定取向的第一部件，使得所述部件的第一侧部面向相机；使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第一部件的所述第一侧部移动到所述相机的焦点上；在所述第一部件的所述第一侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第一侧部的图像。2.根据权利要求1所述的方法，其包括以下步骤：在将所述载物台维持在与捕获所述第一侧部的所述图像时相同的沿所述线性轴线的位置中的同时，使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第二侧部面向所述相机；在所述第一部件的所述第二侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第二侧部的图像。3.根据权利要求1或2所述的方法，其包括以下步骤：在将所述载物台维持在与捕获所述第一侧部的所述图像时相同的沿所述线性轴线的位置中的同时，从所述载物台移除所述第一部件；在所述载物台上提供呈预定取向的具有与所述第一部件相同的尺寸的第二部件，使得所述第二部件的第一侧部面向所述相机；使用所述相机捕获所述第二部件的所述第一侧部的图像；使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第二部件的第二侧部面向所述相机；使用所述相机捕获所述第二部件的所述第二侧部的图像。4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述第一部件是立方形的。5.根据权利要求1所述的方法，其包括以下步骤：当所述第一部件的所述第一侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第一位置数据存储在存储器中；使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第二侧部面向所述相机；使所述载物台沿所述两条线性轴线中的一者或多者线性地移动，以便将所述第一部件的所述第二侧部移动到所述相机的焦点上；当所述第一部件的所述第二侧部在所述相机的焦点上时，将指示所述载物台沿所述两条线性轴线的位置的第二位置数据存储在存储器中；在所述第一部件的所述第二侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第二侧部的图像。6.根据权利要求5所述的方法，其包括以下步骤：使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使得所述第一部件的第三侧部面向所述相机；从所述存储器检索所述第一位置数据，并使所述载物台移动到对应于在所检索的所述第一位置数据中指示的所述位置的位置，以便将所述第一部件的所述第三侧部移动到焦点上；在所述第一部件的所述第三侧部已被移动到所述相机的焦点上之后，捕获所述第三侧2CN110100175A权利要求书2/3页部的图像；使所述载物台围绕所述旋转轴线旋转，使