用于测试电气部件的测试组件和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110235002A(43)申请公布日2019.09.13(21)申请号201780083376.5(74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公(22)申请日2017.03.09司72001代理人董均华李建新(85)PCT国际申请进入国家阶段日2019.07.12(51)Int.Cl.G01R1/04(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/IB2017/0513842017.03.09(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/162956EN2018.09.13(71)申请人伊斯梅卡半导体控股公司地址瑞士拉绍德封(72)发明人D.查瓦伊拉兹D.科斯特M.奥伯利G.拉美尔P.施温登汉梅尔P.维弗格权利要求书3页说明书17页附图13页(54)发明名称套座盖部板上的剩余电接触件将与晶体管部件用于测试电气部件的测试组件和方法的源极进行电接触；(g)执行晶体管部件的测试。(57)摘要还提供了对应测试组件。测试晶体管部件的方法，所述方法包括以下步骤：(a)捕获待被定位到套座中用于测试的晶体管部件的第一图像；(b)从第一图像识别晶体管部件的源极和栅极的位置；(c)使用可旋转转台上的部件处理头保持晶体管部件，(d)使用对准装置，以使晶体管部件移动到部件处理头上的位置中，使得部件处理头可将部件输送到套座上的位置中，其中，套座的基部板上的所有所述多个电接触件将与晶体管部件的漏极进行电接触，并且当盖部移动以封闭套座时，套座的盖部板上的多个电接触件的一部分将与晶体管部件的栅极进行电接触，并且套座的盖部板上的剩余电接触件将与晶体管部件的源极进行电接触；(e)将晶体管部件输送到套座，使得套座基部板上的所有所述多个电接触件与晶体管部件的漏极进行电接触；(f)移动套座盖部板，以覆盖基部板，以封闭套座，并且套座盖部板上的多个电接触件的CN110235002A一部分将与晶体管部件的栅极进行电接触，并且CN110235002A权利要求书1/3页1.测试晶体管部件的方法，所述方法包括以下步骤，(a)捕获待被定位到套座中用于测试的所述晶体管部件的第一图像；(b)从所述第一图像识别所述晶体管部件的源极和栅极的位置；(c)使用可旋转转台上的部件处理头保持所述晶体管部件，(d)使用对准装置，以使所述晶体管部件移动到所述部件处理头上的位置中，使得所述部件处理头能够将所述部件输送到所述套座上的位置中，其中，所述套座的基部板上的所有所述多个电接触件将与所述晶体管部件的漏极进行电接触，并且当盖部移动以封闭所述套座时，套座的盖部板上的多个电接触件的一部分将与所述晶体管部件的所述栅极进行电接触，并且套座的盖部板上的剩余电接触件将与所述晶体管部件的所述源极进行电接触；(e)将所述晶体管部件输送到所述套座，使得所述套座的基部板上的所有所述多个电接触件与所述晶体管部件的所述漏极进行电接触；(f)移动所述套座盖部板，以覆盖所述基部板，以封闭所述套座，并且套座的盖部板上的所述多个电接触件的一部分将与所述晶体管部件的所述栅极进行电接触，并且套座的盖部板上的剩余电接触件将与所述晶体管部件的所述源极进行电接触；(g)执行所述晶体管部件的测试。2.根据权利要求1所述的方法，还包括以下步骤，当所述套座封闭时，捕获所述套座的第二图像，所述图像提供所述盖部板、基部板和晶体管部件的侧视图；以及使用所述第二图像，以确定套座的基部板上的所有所述多个电接触件是否覆盖所述晶体管部件的所述漏极，并且确定所述套座的盖部板上的所有所述多个电接触件是否覆盖所述晶体管部件的所述源极。3.根据权利要求2所述的方法，还包括以下步骤：检查所述第二图像，以确定在所述套座的盖部板上的所述电接触件和所述晶体管部件之间是否存在间隙。4.根据权利要求3所述的方法，还包括以下步骤：如果从所述第二图像确定在所述套座的盖部板上的所述电接触件和所述晶体管部件之间存在间隙，则朝向所述盖部板移动所述基部板的位置，直到所述晶体管部件移动，以封闭所述间隙，使得所述晶体管部件电接触所述盖部板上的所述电接触件。5.根据权利要求2所述的方法，还包括以下步骤：检查所述第二图像，以确定在所述晶体管部件的一侧上在所述基部板和所述盖部板之间的距离‘R1’是否不同于在所述晶体管部件的第二相对侧上在所述基部板和盖部板之间的距离‘R2’。6.根据权利要求2-5中任一项所述的方法，其中，通过以下步骤捕获所述第二图像，使光穿过所述盖部板中的窗口；使用所述基部板上的反射元件使已穿过所述窗口的光反射到所述部件、盖部板和基部板；经由盖部构件中的其它窗口将由所述部件、盖部板和基部板反射的光接收到相机中。7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，还包括以下步骤，捕获被设置在套座的基部板上的多个电