镀膜设备及其靶材承载装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115466930A(43)申请公布日2022.12.13(21)申请号202211114382.1(22)申请日2022.09.13(71)申请人安徽其芒光电科技有限公司地址230000安徽省合肥市高新区文曲路19号3楼101室(72)发明人王怀民姜友松杨运(74)专利代理机构苏州大成君合知识产权代理事务所(普通合伙)32547专利代理师杨新星张印铎(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)H01J25/50(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图2页(54)发明名称镀膜设备及其靶材承载装置(57)摘要公开一种靶材承载装置，用于承载镀膜腔内围绕一旋转轴线转动的靶材；所述靶材承载装置包括：用于带动所述靶材转动的动力传递件；可转动的电接触件；用于支承所述靶材转动的支承件；用于密封冷却剂的冷却剂密封结构；用于密封气体的气体密封结构；其中，所述动力传递件、所述电接触件、所述支承件、所述冷却剂密封结构和所述气体密封结构中的至少三个部件在所述旋转轴线上的垂直投影不存在重叠部分。本说明书所提供的镀膜设备及其靶材承载装置，该靶材承载装置结构简单且易于装配。CN115466930ACN115466930A权利要求书1/2页1.一种靶材承载装置，用于承载镀膜腔内围绕一旋转轴线转动的靶材；所述靶材承载装置包括：用于带动所述靶材转动的动力传递件；可转动的电接触件；用于支承所述靶材转动的支承件；用于密封冷却剂的冷却剂密封结构；用于密封气体的气体密封结构；其中，所述动力传递件、所述电接触件、所述支承件、所述冷却剂密封结构和所述气体密封结构中的至少三个部件在所述旋转轴线上的垂直投影不存在重叠部分。2.根据权利要求1所述的靶材承载装置，所述动力传递件、所述电接触件和所述支承件中的任意两个部件在所述旋转轴线上的垂直投影不存在重叠部分。3.根据权利要求2所述的靶材承载装置，所述冷却剂密封结构与所述动力传递件、所述电接触件、所述支承件中的任意一个部件在所述旋转轴线上的垂直投影不存在重叠部分。4.根据权利要求3所述的靶材承载装置，所述气体密封结构与所述冷却剂密封结构、所述动力传递件、所述电接触件、所述支承件中的任意一个部件在所述旋转轴线上的垂直投影不存在重叠部分。5.根据权利要求4所述的靶材承载装置，所述电接触件、所述动力传递件、所述支承件、所述冷却剂密封结构、所述气体密封结构沿轴向顺次排布。6.根据权利要求1所述的靶材承载装置，所述支承件包括至少一个轴承；其中，所有所述轴承与其他部件在所述旋转轴线上的垂直投影不存在重叠部分。7.根据权利要求1所述的靶材承载装置，所述冷却剂密封结构包括至少一个密封件；其中，所有所述密封件与其他部件在所述旋转轴线上的垂直投影不存在重叠部分。8.根据权利要求1所述的靶材承载装置，所述靶材承载装置包括：用于与腔壁固定相连的第一安装座；固定设于所述第一安装座内的第二安装座，所述第二安装座包括沿轴向延伸的延伸管体，所述延伸管体与所述第一安装座之间具有容纳腔；所述电接触件、所述动力传递件和所述支承件在所述容纳腔内沿所述轴向顺次排布，所述电接触件位于所述动力传递件远离所述靶材的一侧，所述支承件位于所述动力传递件靠近所述靶材的一侧。9.根据权利要求8所述的靶材承载装置，所述动力传递件可转动地套设于所述延伸管体外，所述动力传递件背离所述电接触件的一侧连接有导电传动件，所述导电传动件背离所述动力传递件的一侧连接有用于安装靶材的安装法兰；所述安装法兰和所述第一安装座之间设有所述气体密封结构；所述支承件固定套设于所述导电传动件外；所述导电传动件和所述支承件之间设有绝缘部。10.根据权利要求9所述的靶材承载装置，所述第二安装座包括与所述延伸管体远离所述靶材的一端相连的底座，所述延伸管体背离所述底座的一端不低于所述导电传动件背离所述动力传递件的一端。11.根据权利要求9所述的靶材承载装置，所述延伸管体的内部限定有冷却剂流动空间；所述冷却剂密封结构包括设于所述导电传动件和所述延伸管体之间的第一密封件、以及设于所述导电传动件和所述安装法兰之间的第二密封件，所述第二密封件环套于所述导2CN115466930A权利要求书2/2页电传动件外，所述第二密封件和所述第一密封件在所述旋转轴线上的垂直投影存在重叠部分。12.根据权利要求8所述的靶材承载装置，所述第一安装座包括沿轴向排列可拆卸连接的第一主体和第二主体；所述第二安装座包括与所述延伸管体远离所述靶材的一端相连的底座，所述底座设置于所述第二主体面对所述第一主体的一侧；所述第一安装座和所述第二安装座由导电材料制成，所述底座和所述第二主体之间具有绝缘间隙。13.一种镀膜设备，包括如权利要求1至12中任一项所述的靶材承载装置。3CN115