静电夹盘、玻璃基板处理方法及其玻璃基板.pdf

本发明提供一种静电夹盘、玻璃基板处理方法及其玻璃基板，其通过将基材予以轻量化且强度化，借此维持基材的平坦度，并防止被加工板体的落下等，并且能够对于被加工板体进行高速且高质量的处理。静电夹盘1具备有基材2、及静电吸附层3。基材2由底面板20、侧面板21至24、以及顶面板25所形成，且在基材2的内部构成有多巢构造部4。多巢构造部4为通过正六角形筒状体40所成的蜂巢构造体，而谋求基材2的轻量化、及强度化。静电吸附层3为利用介电体31、及吸附电极32所构成，且利用接着材30接着在基材2上表面。介电体31为将表面设

2023-06-23

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玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板层叠体.pdf

玻璃基板的制造方法，不易在玻璃基板发生应变、不易形成玻璃基板的主表面的凹凸，包括：熔融玻璃处理步骤，在因熔融玻璃的导入而形成气相空间、且壁的至少一部分是由铂族金属制成的玻璃处理装置中处理熔融玻璃时，存在于气相空间的、从壁挥发的铂族金属的挥发物的凝集物作为异物混入；以及凝集物处理步骤，缩小凝集物的大小，使得在该熔融玻璃处理步骤中混入熔融玻璃的凝集物中，最大长度为50μm以下的凝集物的个数的比例为70％以上。玻璃基板层叠体的玻璃基板的体积总计为0.1m

2023-06-14

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玻璃基板、层叠基板以及玻璃基板的制造方法.pdf

本发明提供一种玻璃基板，在将硅基板和玻璃基板贴合的热处理工序中，碱性离子不易向上述硅基板扩散，上述硅基板产生的残留应变小。本发明的玻璃基板在50℃～100℃的平均热膨胀系数α

2023-11-19

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玻璃基板表面处理方法.pdf

一种玻璃基板表面处理方法，先将待研磨的玻璃基板固定于旋转座上，使旋转座旋转带动玻璃基板旋动，旋转座上方设有研磨装置，研磨装置枢设研磨盘，研磨盘直径小于玻璃基板最长边的长度，并大于玻璃基板最长边一半的长度，研磨盘周缘两侧分别设有起始点与终止点，当研磨盘对玻璃基板进行研磨时，先使研磨盘抵压至玻璃基板表面，并让研磨盘的起始点重迭于玻璃基板于旋转时的中心轴，停留一段时间后，再使研磨盘横向位移，于研磨盘的终止点重迭玻璃基板的中心轴时，停止移动并停留一段时间后，再将研磨盘抬离玻璃基板表面，让玻璃基板表面的波浪纹可有效

2023-11-25

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玻璃基板传送装置及其操作方法与玻璃基板传送系统.pdf

本发明涉及玻璃基板加工领域，公开了一种玻璃基板传送装置及其操作方法与玻璃基板传送系统，该装置包括机架(1)、驱动轴(4)和多个传送机构，每个传送机构包括驱动件(2)、滚轮轴(3)、和支板(5)，每个支板上转动安装有多个滚轮轴，滚轮轴上设置有用于传送玻璃基板的滚轮(8)，驱动轴转动安装在机架上，每个滚轮轴固定安装有从动轮(21)，驱动轴固定安装有多个主动轮(22)，多个主动轮(22)分别与多个滚轮轴(3)上的从动轮(21)传动连接，支板铰接于驱动轴，驱动件设置为能够带动支板绕驱动轴转动。本申请的基板传送装置

2023-09-01

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