一种联体式真空高温歧化反应装置.pdf

一种联体式真空高温歧化反应装置，由两个相连接的反应炉构成，包括炉壳、发热体、坩埚和真空系统，其特征在于：(1)两反应炉的炉壳分别由两个圆柱体构成，两圆柱体的上侧部通过带冷阱的管道和法兰相连接；(2)两个反应炉分别有各自的发热体和坩埚，发热体和坩埚用相同的材料或者不同的材料制成；(3)第一反应炉坩埚的上方设置一个一氧化硅集气罩，集气罩通过一个Γ形冷凝管同两炉体之间连接管道与法兰相连接；(4)第二反应炉坩埚的上方设置有一氧化硅注入管，该注入管后端同两炉体之间的连接管道与法兰相连接；(5)两反应炉分别设置有各自

2023-06-20

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一种高温真空炉反应装置及其控制方法.pdf

本发明公开了一种高温真空炉反应装置及其控制方法，包括炉管和用于给炉管抽真空的抽真空装置，抽真空装置是用于对气体冷却和过滤的冷却过滤管的两端分别与炉管内的石英管、连接管的一端连接，连接管的另一端连接分子泵，连接管上设有真空计，慢抽阀、快抽阀分别与连接管连接连通，板阀与分子泵连接，分子泵上连接有分子阀，分子阀、慢抽阀、快抽阀的出气口均连接到四通管，四通管出气口连接干泵，冷却过滤管与炉管内的石英管连接处设有用于连接外部气源的氮气充气口，本发明具有能在高温环境下稳定提供高真空度、根据不同工艺和需求设置不同真空值要

2023-06-15

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氯化亚铝真空歧化反应研究.docx

氯化亚铝真空歧化反应研究氯化亚铝真空歧化反应研究氯化亚铝是一种重要的化学品，广泛应用于金属冶炼、有机合成、配合物制备等领域中。然而，由于其高热稳定性和水解性,目前的工业生产过程主要是采用氯化铝或氧化铝氯化为前驱体合成的方法。然而，此类方法生成的阳离子铝谱极为复杂，对环境造成一定的影响和危害。因此，发展一种高效、绿色、高选择性的新型氯化亚铝合成方法是非常重要的。本文旨在介绍氯化亚铝真空歧化反应的研究进展及其应用。该反应可将四氯化碳和氯化铝作为前驱体，生成氯化亚铝和氯气。该反应对于实现氯化亚铝的高效、绿色合成

2024-11-16

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一种真空高温电离放电反应装置及其使用方法.pdf

本发明公开了一种真空高温电离放电反应装置，包括高压电源装置和真空电离反应瓶，所述真空电离反应瓶包括反应容器、钨丝电极和高真空旋塞，钨丝电极一端穿过反应容器的侧壁，且与反应容器烧结为一体，另一端裸露在外与高压电源装置相连，用于将电火花引入到反应容器内，所述反应容器上端设有一长颈旋塞螺纹连接口，上端一侧设有带磨口的支管，所述高真空旋塞通过螺纹与长颈旋塞螺纹连接口相连。本发明装置可抽真空至10

2023-12-05

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一种真空反应装置及反应方法.pdf

本发明公开了一种真空反应装置及反应方法，反应腔外设有加热器；反应腔内放置载具，所述载具导电并与反应腔内的其他部分绝缘，所述载具为至少一组平行排列的平板，两相邻的平板分别接等离子体电源的两极；设有多组平行排列的平板时，平行平板通过导电元件交替相互连接并引出真空腔体外，分别接等离子体电源的两极；所述反应腔一端设出气口，出气口连真空泵，另一端设进气口，进气口连接气源。真空反应装置既可以进行等离子体增强原子层沉积反应又可以进行等离子体增强化学气相沉积反应。本发明中采用绝缘的管式炉体和可承载大批量硅片的载具，可使载

2023-06-17

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