一种高温真空炉反应装置及其控制方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115289846A(43)申请公布日2022.11.04(21)申请号202210937905.6(22)申请日2022.08.05(71)申请人青岛海迪克半导体科技有限公司地址266114山东省青岛市高新区锦汇路1号蓝湾创业园12号楼101(72)发明人梅兴东崔秀鹏梅家祺张永锋赵焱(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D1/18(2006.01)F27D7/06(2006.01)F27D99/00(2010.01)F27D9/00(2006.01)B01D46/62(2022.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称一种高温真空炉反应装置及其控制方法(57)摘要本发明公开了一种高温真空炉反应装置及其控制方法，包括炉管和用于给炉管抽真空的抽真空装置，抽真空装置是用于对气体冷却和过滤的冷却过滤管的两端分别与炉管内的石英管、连接管的一端连接，连接管的另一端连接分子泵，连接管上设有真空计，慢抽阀、快抽阀分别与连接管连接连通，板阀与分子泵连接，分子泵上连接有分子阀，分子阀、慢抽阀、快抽阀的出气口均连接到四通管，四通管出气口连接干泵，冷却过滤管与炉管内的石英管连接处设有用于连接外部气源的氮气充气口，本发明具有能在高温环境下稳定提供高真空度、根据不同工艺和需求设置不同真空值要求、使用寿命长、密封稳定性好、保护真空装置与产品的安全的特点。CN115289846ACN115289846A权利要求书1/2页1.一种高温真空炉反应装置，包括炉管和用于给炉管抽真空的抽真空装置，其特征是所述的抽真空装置是用于对气体冷却和过滤的冷却过滤管的两端分别与炉管内的石英管、连接管的一端连接，连接管的另一端连接分子泵，连接管上设有真空计，慢抽阀、快抽阀分别与连接管连接连通，板阀与分子泵连接，分子泵上连接有分子阀，分子阀、慢抽阀、快抽阀的出气口均连接到四通管，四通管出气口连接干泵，冷却过滤管与炉管内的石英管连接处设有用于连接外部气源的氮气充气口。2.根据权利要求1所述的一种高温真空炉反应装置，其特征是所述的冷却过滤管为中空夹层结构的管体，中空的夹层作为循环水腔，管体上设有与循环水腔连通的冷却水进口、冷却水出口，管体内由进口到出口依次设有初级滤网、沉积板以及滤芯。3.根据权利要求1所述的一种高温真空炉反应装置，其特征是所述的冷却过滤管的两端分别通过第一波纹管与石英管、连接管的一端连接。4.根据权利要求3所述的一种高温真空炉反应装置，其特征是波纹管与石英管连接处设有中空腔，中空腔上设有与其连通的波纹管冷却水进口以及波纹管冷却水出口。5.根据权利要求3所述的一种高温真空炉反应装置，其特征是波纹管、夹板分别固定在石英管口法兰面两侧，夹板与石英管法兰面之间设有四氟垫圈。6.根据权利要求1所述的一种高温真空炉反应装置，其特征是所述的炉管的炉门上安装有用于密封炉门与炉门框的密封圈，炉门与炉门框轴连接，炉门框内侧设有用于密封炉门框与石英管的法兰面的密封圈，夹板和炉门框分别固定在石英管法兰面的两侧，夹板与石英管法兰面间安装有四氟垫片。7.根据权利要求6所述的一种高温真空炉反应装置，其特征是所述的炉门框上设有降温水腔，冷却水进口、冷却水出口与降温水腔连接连通。8.根据权利要求1所述的一种高温真空炉反应装置，其特征是所述的连接管包括第一弯管接头和第二弯管接头，第一弯管接头与第二弯管接头通过波纹管连接，第一弯管接头的另一端与冷却过滤管通过波纹管连接，第二弯管接头的另一端与分子泵连接。9.一种权利要求1‑8任一权利要求所述的高温真空炉反应装置的控制方法，其特征是包括以下步骤：a、产品通过炉门放置进石英管；b、封闭炉门后，控制装置启动干泵，先打开慢抽阀，进行慢抽作业，控制装置通过真空计实时检测石英管的真空值；c、在石英管的真空值为200~500Torr时，控制装置打开快抽阀，关闭慢抽阀进行快速抽真空作业，控制装置通过真空计实时检测真空值；d、在石英管的真空值降至5mTorr时，控制装置启动分子泵，打开板阀、分子阀，关闭快抽阀；e、石英管的真空值达到工艺设定值开始工艺前，控制装置会自动进行3分钟保压测试，系统关闭所有阀门，若3分钟内系统真空度变化量级未跨量级变化，则系统真空度正常，可以继续进行工艺；否则，进行报警处理；f、在分子泵抽真空过程中，控制装置随时检测石英管真空值，若石英管因意外破真空，控制装置会紧急关闭板阀、分子阀，停止分子泵运转；2CN115289846A权利要求书2/2页g、在整个生产过程中，各真空阀门与氮气充气口互锁，在抽真空过程中，氮气无法充气；同理，在氮气充气过程中，各真空阀也无法开启。3CN115289846A说明书1/4页一种高温真空炉反应装置及其控制方法技术领域[