悬臂式坩埚起吊搬运机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101892516A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CNCN101892516101892516A(43)申请公布日2010.11.24(21)申请号201010210015.2(22)申请日2010.06.25(71)申请人上海汉虹精密机械有限公司地址200444上海市宝山城市工业园区山连路188号(72)发明人赖章田贺贤汉(74)专利代理机构上海汉声知识产权代理有限公司31236代理人胡晶(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)B66C23/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称悬臂式坩埚起吊搬运机构(57)摘要本发明公开了一种悬臂式坩埚起吊搬运机构，安装在单晶炉的立柱侧面，它包括悬臂、通过直梁连接悬臂的手柄，位于直梁下的卷扬机吊钩，卷扬机吊钩通过钢丝绳连接悬臂内的导线轮，导线轮侧部连接导线轮座，导线轮座下方轴承座，轴承座再连接盖板，所述盖板下设置微型电动卷扬机。连接卷扬机吊钩的钢丝绳穿过导线轮座竖直而下，一直延伸到所述微型电动卷扬机，所述钢丝绳与微型电动卷扬机的转动机构连接，通过钢丝绳卷起或放松，带动卷扬机吊钩勾住的重物做升降运动；而通过人操作手柄转动悬臂在水平方向移动。本发明实现了半自动搬运硅料与石英坩埚，节约了劳动力，工作效率高，改变了以前人工搬运易污染原料、效率低的状况。CN1089256ACN101892516ACCNN110189251601892517A权利要求书1/1页1.悬臂式坩埚起吊搬运机构，安装在单晶炉的立柱侧面，其特征在于，它包括成直角弯曲的手柄，与手柄相连的悬臂，位于手柄与悬臂连接处下方的钢丝绳及与钢丝绳连接的卷扬机吊钩，设置于悬臂内的导线轮，与悬臂通过转轴连接的导线轮座，与所述导线轮座轴承连接的轴承座，位于轴承座下方其内部设有导线轮的盖板，连接在盖板底部的微型电动卷扬机，所述钢丝绳穿过悬臂内部，绕过所述导线轮及导线轮座，再垂直而下穿过轴承座及盖板内部的导向轮，与所述微型电动卷扬机的转动机构连接。2.根据权利要求1所述的悬臂式坩埚起吊搬运机构，其特征在于，所述悬臂包括直梁与弯梁，直梁与弯梁通过连接槽连接。3.根据权利要求2所述的悬臂式坩埚起吊搬运机构，其特征在于，所述悬臂通过直梁的一端与手柄连接，在连接处设置调整块。4.根据权利要求1所述的悬臂式坩埚起吊搬运机构，其特征在于，所述微型电动卷扬机电连接手持控制盒，手持控制盒上设置“向上”与“向下”的按钮。5.根据权利要求1所述的悬臂式坩埚起吊搬运机构，其特征在于，所述卷扬机吊钩上方的钢丝绳在靠近悬臂部位设置限位机构，限位机构包括限位开关与连接在悬臂底部的限位座，所述限位开关连接在钢丝绳与限位座之间。6.根据权利要求1或4或5所述的悬臂式坩埚起吊搬运机构，其特征在于，所述微型电动卷扬机、手持控制盒与限位开关采用变频器控制。7.根据权利要求1所述的悬臂式坩埚起吊搬运机构，其特征在于，所述悬臂在两侧最大放置角度与转轴的衔接处设置限位开关与机械硬限位，所述机械硬限位采用弹性销钉卡住。2CCNN110189251601892517A说明书1/3页悬臂式坩埚起吊搬运机构技术领域[0001]本发明涉及半导体生产设备，特别涉及一种悬臂式坩埚起吊搬运机构。背景技术[0002]目前市场上大部分单晶炉设备都还没有可以实现自动搬运硅料与石英坩埚的功能部件，工厂在拉制晶棒的开始和结束时都需要人工拖运硅料与石英坩埚。人工搬运硅料和石英坩埚时，人为因素极易破坏高价的石英坩埚，和污染硅原料，还有工作效率低，人工搬运困难，劳动力成本高等问题。发明内容[0003]为了克服上述现有技术存在的缺陷，本发明提供一种悬臂式坩埚起吊搬运机构，实现硅料，石英坩埚等在单晶炉腔体内外的半自动搬运，减少了工人的劳动强度，节省人力与成本，工人操作简单方便，提高了生产效率。[0004]为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：[0005]悬臂式坩埚起吊搬运机构，安装在单晶炉的立柱侧面，与单晶炉配合使用，实现半自动搬运硅料与石英坩埚。[0006]它包括成直角弯曲的手柄，与手柄相连的悬臂，位于手柄与悬臂连接处下方的钢丝绳及与钢丝绳连接的卷扬机吊钩，设置于悬臂内的导线轮，与悬臂通过转轴连接的导线轮座，与所述导线轮座轴承连接的轴承座，位于轴承座下方其内部设有导线轮的盖板，连接在盖板底部的微型电动卷扬机，所述钢丝绳穿过悬臂内部，绕过所述导线轮及导线轮座，再垂直而下穿过轴承座及盖板内部的导向轮，与所述微型电动卷扬机的转动机构连接。[0007]进一步，所述悬臂包括直梁、弯梁与连接所述直梁与弯梁的连接座，悬臂通过直梁连接所述手柄，所述弯梁通过转轴连接导线轮座。[0008]卷扬机吊钩上方的钢丝绳在靠近悬臂的直梁上端设置限位机构，