溅射靶材用钨钛合金板的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102002605A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102002605A(43)申请公布日2011.04.06(21)申请号201010575014.8(22)申请日2010.12.06(71)申请人西安瑞福莱钨钼有限公司地址710201陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路15号(72)发明人丁旭白锋李文超侯军涛黄先明郭让民(74)专利代理机构西安创知专利事务所61213代理人谭文琰(51)Int.Cl.C22C1/04(2006.01)C22F1/02(2006.01)C22F1/18(2006.01)C23C14/34(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称溅射靶材用钨钛合金板的制备方法(57)摘要本发明公开了一种溅射靶材用钨钛合金板的制备方法，该方法包括以下步骤：1.将钨粉与钛粉置于三维混料器中混合，然后用冷等静压机成型，得到钨钛合金靶材生坯；2.将钨钛合金靶材生坯置于真空热压烧结炉内制备钨钛合金板坯；3.将钨钛合金板坯表面打磨光滑后切割至所需尺寸；4.将经切割后的钨钛合金板坯置于真空退火炉内退火，得到钨钛合金板。本发明制备过程充分利用钨钛合金粉末，后期只需少许机械加工即可，成品率高，制备过程中不会产生任何废料、废酸等污染物。ACN10265CCNN110200260502002616A权利要求书1/1页1.一种溅射靶材用钨钛合金板的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：(1)将费氏平均粒度为3.0μm～7.0μm的钨粉与费氏平均粒度为30μm～80μm的钛粉按9∶1的质量比置于三维混料器中，在转速为80r/min～120r/min条件下混合2h～5h，然后用冷等静压机成型，得到钨钛合金靶材生坯；(2)将步骤(1)中所述钨钛合金靶材生坯置于真空热压烧结炉内，在压力为20MPa～35MPa条件下，升温1450℃～1650℃后保温2h～4h制得钨钛合金板坯；(3)将步骤(2)中所述钨钛合金板坯表面打磨光滑后切割至所需尺寸；(4)将步骤(3)中经切割后的钨钛合金板坯置于真空退火炉内，升温至1100℃～1500℃退火2h～3h，得到溅射靶材用钨钛合金板。2.根据权利要求1所述的溅射靶材用钨钛合金板的制备方法，其特征在于，步骤(1)中所述钨粉和钛粉的质量纯度均≥99.99％。3.根据权利要求1所述的溅射靶材用钨钛合金板的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述升温的速率为15℃/min。4.根据权利要求1所述的溅射靶材用钨钛合金板的制备方法，其特征在于，步骤(4)中所述升温的速率为30℃/min。2CCNN110200260502002616A说明书1/3页溅射靶材用钨钛合金板的制备方法技术领域[0001]本发明属于材料加工技术领域，具体涉及一种溅射靶材用钨钛合金板的制备方法。背景技术[0002]钨合金具有高熔点、高强度和低的热膨胀系数等性能，已被广泛地应用于多种领域。目前国内对于钨钛合金靶材生产还处于初级阶段，没有大规模的生产方法。国内较多高等院校使用热等静压的方法制备小规格钨钛合金靶材，但是密度无法达到理论密度的99％以上，所以均为不合格样品。发明内容[0003]本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种溅射靶材用钨钛合金板的制备方法。制备过程充分利用钨钛合金粉末，后期只需少许机械加工即可，成品率高，制备过程中不会产生任何废料、废酸等污染物。[0004]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种溅射靶材用钨钛合金板的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：[0005](1)将费氏平均粒度为3.0μm～7.0μm的钨粉与费氏平均粒度为30μm～80μm的钛粉按9∶1的质量比置于三维混料器中，在转速为80r/min～120r/min条件下混合2h～5h，然后用冷等静压机成型，得到钨钛合金靶材生坯；[0006](2)将步骤(1)中所述钨钛合金靶材生坯置于真空热压烧结炉内，在压力为20MPa～35MPa条件下，升温至1450℃～1650℃后保温2h～4h制得钨钛合金板坯；[0007](3)将步骤(2)中所述钨钛合金板坯表面打磨光滑后切割至所需尺寸；[0008](4)将步骤(3)中经切割后的钨钛合金板坯置于真空退火炉内，升温至1100℃～1500℃退火2h～3h，得到溅射靶材用钨钛合金板。[0009]上述步骤(1)中所述钨粉和钛粉的质量纯度均≥99.99％。[0010]上述步骤(2)中所述升温的速率为15℃/min。[0011]上述步骤(4)中所述升温的速率为30℃/min。[0012]本发明与现有技术相比具有以下优点：[0013]1、本发明的设备容易制作及购买，钨钛合金粉末制备技术成熟。[0014]2、本发明的制备过程充分