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一种钨钛溅射靶材的制备方法.pdf
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一种钨钛溅射靶材的制备方法.pdf
本发明公开了一种钨钛溅射靶材的制备方法，涉及靶材制备领域，其包括：1)将质量份数为90的纯度≥4N的钨粉、质量份数1‑5的纯度≥3N5的钛粉、质量份数为5‑10.4的纯度≥3N5的氢化钛粉末加入到行星球磨罐内进行球磨；2)对球磨的粉末进行过筛处理，再进行真空干燥；3)将干燥后的粉末装入热压石墨模具中；4)将石墨模具置于真空热压炉的压头正下方，并对模具进行预压0.5Mpa‑2MPa，设定烧结参数进行烧结，然后将模具取出进行脱模操作；5)放入真空退火炉中进行真空退火，退火完成后对钨钛毛坯进行各种机加工至所需产
2023-06-15
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2023-06-20
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一种超高纯铝硅钛溅射靶材合金的制备方法.pdf
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2023-05-26
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一种应用溅射法制备高纯度钛溅射靶材的方法，使用溅射法生产的纯度为99.9％以上的钛合金为原料，采用电子束冷床炉熔炼获得高纯钛毛坯(纯度在99.98％以上)，对钛毛坯铣面并精修磨后对钛方坯切头，再切成锻造毛坯所要求的尺寸，对锻造毛坯探伤，将合格的锻造毛坯加热至980～1020℃，采用三镦三拔对锻造毛坯进行锻造，在终拔时将锻件模锻成所需规格棒材，并对锻件退火后车除棒材表面氧化皮，去除两头的锻帽后再锯切成所需规格的小柱块；车光小柱块的两锯切端面，对底部内车铣，预留出边缘，对预留边缘倒角，再对另一端部开丝，进一步
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