一种制造石英陶瓷坩埚的工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102001819A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102001819A(43)申请公布日2011.04.06(21)申请号201010597270.7(22)申请日2010.12.21(71)申请人弘元新材料无锡有限公司地址214128江苏省无锡市滨湖区雪浪街道南湖中路(72)发明人杨建良(74)专利代理机构无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙)32227代理人顾吉云(51)Int.Cl.C03B20/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页(54)发明名称一种制造石英陶瓷坩埚的工艺(57)摘要本发明提供了一种制造石英陶瓷坩埚的工艺，其使得制造坩埚的成品率高，降低了制造成本。其特征在于：（a）制备浇注浆料：将石英玻璃加水磨细制浆，然后加入石英干粉、硅溶胶，混合后搅拌形成浇注浆料，其中石英玻璃：石英干粉的质量分数比为（55%~50%）：（45%~50%），浇注浆料的含水质量为8%~12%；（b）浇注脱模坯体：将制备好的浇注浆料浇注于石膏模具的腔体内，待浇注浆料填充满模具的腔体后，静置，4~8小时后脱模，形成脱模坯体；（c）烘干：将脱模坯体放入烘干炉，100℃~150℃温度下6小时~10小时烘干；（d）烧制：将烘干的脱模坯体放入窑炉中烧制，温度：1100℃~1200℃，时间：16小时~24小时。（e）打磨、检测：打磨掉不平整的毛边，检测内部是否有裂纹。ACN10289CCNN110200181902001829A权利要求书1/1页1.一种制造石英陶瓷坩埚的工艺，其特征在于：（a）、制备浇注浆料：将石英玻璃加水磨细制浆，然后加入石英干粉、硅溶胶，混合后搅拌形成浇注浆料，其中石英玻璃：石英干粉的质量分数比为（55%~50%）：（45%~50%），浇注浆料的含水质量为8%~12%；（b）、浇注脱模坯体：将制备好的浇注浆料浇注于石膏模具的腔体内，待浇注浆料填充满模具的腔体后，静置，4~8小时后脱模，形成脱模坯体；（c）、烘干：将脱模坯体放入烘干炉，100℃~150℃温度下6小时~10小时烘干；（d）、烧制：将烘干的脱模坯体放入窑炉中烧制，温度：1100℃~1200℃，时间：16小时~24小时；（e）、打磨、检测：打磨掉不平整的毛边，检测内部是否有裂纹。2.根据权利要求1所述的一种制造石英陶瓷坩埚的工艺，其特征在于：所述制备浇注浆料的步骤中，将石英玻璃加入水，其中水的质量分数为18%~25%，在球磨机70℃~80℃的环境中磨8小时~12小时，使得石英玻璃形成小颗粒，之后加入中、大颗粒混合的石英干粉和硅溶胶进行搅拌，最终形成浇注浆料，其中硅溶胶的质量占总质量的0.1%~0.3%。3.根据权利要求1或2所述的一种制造石英陶瓷坩埚的工艺，其特征在于：所述小颗粒粒径≤0.5mm，所述中、大颗粒粒径为0.5mm~1mm。2CCNN110200181902001829A说明书1/2页一种制造石英陶瓷坩埚的工艺技术领域[0001]本发明涉及制造多晶硅的坩埚的技术领域，具体为一种制造石英陶瓷坩埚的工艺。背景技术[0002]现有的多晶硅是采用将多种物质混合入坩埚内，然后将坩埚及其内部的多种物质一起放入炉膛内进行烧结，获得多晶硅，将坩埚丢弃。[0003]现有的坩埚的制造工艺都是将石英溶化后，直接放置于石膏模具内，然后烧制成型，但是因为在石英融化的过程需要1750℃~1800℃，石英由结晶态变成液态，体积膨胀，然后再注入石膏模具后，相同体积的液态石英填充满石膏模具的空腔，液态石英在结晶过程中，体积收缩，进而使得坩埚容易开裂，导致坩埚的成品率低，其制造成本大。发明内容[0004]针对上述问题，本发明提供了一种制造石英陶瓷坩埚的工艺，其使得制造坩埚的成品率高，降低了制造成本。[0005]一种制造石英陶瓷坩埚的工艺，其技术方案是这样的：其特征在于：（a）、制备浇注浆料：将石英玻璃加水磨细制浆，然后加入石英干粉、硅溶胶，混合后搅拌形成浇注浆料，其中石英玻璃：石英干粉的质量分数比为（55%~50%）：（45%~50%），浇注浆料的含水质量为8%~12%；（b）、浇注脱模坯体：将制备好的浇注浆料浇注于石膏模具的腔体内，待浇注浆料填充满模具的腔体后，静置，4~8小时后脱模，形成脱模坯体；（c）、烘干：将脱模坯体放入烘干炉，100℃~150℃温度下6小时~10小时烘干；（d）、烧制：将烘干的脱模坯体放入窑炉中烧制，温度：1100℃~1200℃，时间：16小时~24小时；（e）、打磨、检测：打磨掉不平整的毛边，检测内部是否有裂纹。[0006]其进一步特征在于：所述制备浇注浆料的步骤中，将石英玻璃加入水，其中水的质量分数为18%~25%，在球磨机70℃~80℃的环境中磨8小时~12小时，使得石英玻璃形成小颗粒，之后加入中、大