多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102863144102863144B(45)授权公告日2015.02.11(21)申请号201110185259.4CN101988214A,2011.03.23,卢德等.具有良好热稳定性的85刚玉坩埚的(22)申请日2011.07.04研制.《高速摄影与光子学》.1985,(第3期),第(73)专利权人徐州协鑫太阳能材料有限公司54-59页.地址221116江苏省徐州市铜山高新技术产业开发区钱江路2号审查员张月(72)发明人杨军韩涛余新才(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所11256代理人陈长会谢燕军(51)Int.Cl.C03B20/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)C30B28/06(2006.01)(56)对比文件CN102030470A,2011.04.27,权利要求书1页权利要求书1页说明书4页说明书4页(54)发明名称多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法(57)摘要本发明公开一种多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法，包括以下步骤：a：将石英块料和石英粗颗粒料、第一部分氧化铝球石和高纯水在球磨设备中研磨成中粒径为6-12μm的半成品浆料；b：加入石英细颗粒料和第二部分氧化铝球石，和步骤a中的半成品浆料一起混合均匀，制作成中粒径为10-50μm的成品浆料；c：成品浆料进行除泡处理，常压下注入石膏模具中，静止放置1-2天以脱水，然后脱模形成半成品坩埚；d：半成品坩埚在90-190℃的温度下干燥；e：将干燥后的坯体放入窑炉，在900-1200℃的温度下烧结12-20小时，获得多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚。本发明方法烧结出的坩埚结构致密、均匀、体积密度高，并且断裂模数高。CN102863144BCN1028634BCN102863144B权利要求书1/1页1.多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法，包括以下步骤：a：将石英块料和石英粗颗粒料、第一部分氧化铝球石和高纯水在球磨设备中研磨成中粒径为6-12μm的半成品浆料；b：加入石英细颗粒料和第二部分氧化铝球石，和步骤a中的半成品浆料一起混合均匀，制作成中粒径为10-50μm的成品浆料；c：成品浆料进行除泡处理，常压下注入石膏模具中，静止放置1-2天以脱水，然后脱模形成半成品坩埚；其中所述除泡处理包括向成品浆料中加入成品浆料总质量的5-50ppm的甲基纤维素，混合均匀后静止存放2～5小时以排除气泡；d：半成品坩埚在90-190℃的温度下干燥；e：将干燥后的坯体放入窑炉，在900-1200℃的温度下烧结12-20小时，获得多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚。2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于a步骤中的石英块料的直径小于60mm，石英粗颗粒料的直径小于5mm。3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于a步骤中的石英块料的质量是石英粗颗粒料质量的1-2倍。4.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于a步骤中的第一部分氧化铝球石的直径为30-60mm，加入量为石英块料和石英粗颗粒料总质量的60-80％。5.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于a步骤中的高纯水的加入量为石英块料和石英粗颗粒料总质量的20-30％。6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于b步骤中石英细颗粒料的中粒径为10-50μm，加入量为石英块料和石英粗颗粒料总质量的30-50％。7.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于b步骤中的第二部分氧化铝球石的直径为30-60mm，加入量为石英块料和石英粗颗粒料总质量的15-35％。8.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于石英块料、石英粗颗粒料和石英细颗粒料的二氧化硅含量为≥99.5％。9.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于e步骤中，坯体进窑炉烧成前经过打磨和修补。10.能够根据权利要求1-9任一项所述制造方法获得的多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚。2CN102863144B说明书1/4页多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法技术领域[0001]本发明涉及石英陶瓷坩埚的制造方法，尤其涉及多晶硅铸锭用石英陶瓷坩埚的制造方法，以及可由此获得的石英陶瓷坩埚。背景技术[0002]当今世界能源日趋紧张，光伏技术可以充分利用太阳能，有效缓解世界能源紧张这一局面，并且清洁、环保。光伏技术主要有单晶硅、多晶硅、薄膜电池，与单晶硅、薄膜电池相比，多晶硅具有发电效率高、使用寿命长、成本低等优点，近些年多晶硅光伏产业得到快速发展和广泛的应用。[0003]对于多晶硅铸锭用坩埚，有的采用石墨材质制作，制作成本高，并且铸锭产品杂质含量高，铸锭合格部分非常低，效果不好，未得到规模应用。有的采用连续铸锭，但技术要求过高，不成熟，尚属实验阶段。200810124615.X公开了一种用于多晶