多晶硅坩埚烧结炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102021660A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102021660A(43)申请公布日2011.04.20(21)申请号201010614198.4(22)申请日2010.12.30(71)申请人绍兴精功机电有限公司地址312028浙江省绍兴市绍兴县杨汛桥镇绍兴精功机电有限公司(72)发明人孙国飞陈辉张鹏铭朱鑫峰张玮徐飞吴建飞(74)专利代理机构浙江翔隆专利事务所33206代理人戴晓翔(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图17页(54)发明名称多晶硅坩埚烧结炉(57)摘要本发明涉及一种多晶硅坩埚烧结炉，它包括炉体，与炉体相配合的移动式台车，设置在炉体内的加热系统和排湿冷却系统，与加热系统和排湿冷却系统电气控制连接的电气控制系统，其特征在于所述炉体包括骨架，设置在骨架内壁的保温层结构，所述保温层结构包括纳米保温板。本发明具有突出的实质性特点：增设纳米保温板，保温效果好，保温层结构中的其他保温层厚度可以大为减少，从而减少了炉壁自身的蓄热，使炉子的升温和强制风冷降温的效率，大为提高缩短了生产周期；同时，提高了生产效率、达到节能效果。CN1026ACCNN102021660102021674AA权利要求书1/2页1.多晶硅坩埚烧结炉，包括炉体（1），与炉体（1）相配合的移动式台车（2），设置在炉体（1）内的加热系统和排湿冷却系统，与加热系统和排湿冷却系统电气控制连接的电气控制系统，其特征在于所述炉体包括骨架（3），设置在骨架内壁的保温层结构，所述保温层结构包括纳米保温板（4）。2.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚烧结炉，其特征在于所述的保温层结构还包括依次设置的耐火砖（5）、陶瓷纤维板（6）、硅钙板（7），所述的纳米保温板（4）设置在最外层与骨架（3）接触。3.根据权利要求2所述的多晶硅坩埚烧结炉，其特征在于还包括电热场结构，其包括通过连接组件与骨架（3）可更换式装配的电热元件支承座（8），通过刚玉管支撑的电热元件，所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座（8）上，所述的电热元件支承座（8）的连接部与连接座（12）之间充填陶瓷纤维板、或硅钙板、或其结合；或纳米保温板与陶瓷纤维板、硅钙板的组合；所述连接组件包括通过连接件（25）固定在骨架（3）上的连接座（12），一端钩挂在连接座（12）上、另一端钩挂在电热元件支承座（8）连接部上的连接挂钩（9）。4.根据权利要求3所述的多晶硅坩埚烧结炉，其特征在于每个电热元件支承座（8）上至少对应的设置两个连接挂钩（9），分别设置在电热元件支承座（8）的顶部和底部，或者分别设置在电热元件支承座（8）相对的两侧面。5.根据权利要求4所述的多晶硅坩埚烧结炉，其特征在于相临上下电热元件支承座（8）的分别设于阴阳配合部，即相临的上电热元件支承座（8）和相临的下电热元件支承座（8）上分别设置相配合的凹部（28）和凸部（29）。6.根据权利要求3所述的多晶硅坩埚烧结炉，其特征在于每个电热元件支承座（8）仅顶部配合一个连接挂钩（9），相临上下电热元件支承座（8）的分别设于阴阳配合部，即相临的上电热元件支承座（8）和相临的下电热元件支承座（8）上分别设置相配合的凹部（28）和凸部（29）。7.根据权利要求3所述的多晶硅坩埚烧结炉，其特征在于所述电热元件支承座（8）的工作部为弯钩支承部，该弯钩支承部的中部设有轴向的加强板（30），所述加强板（30）上部开设电热元件走线孔（31），所述弯钩支承部被加强板（30）分割成相对的两个承接部（32）；所述的连接座（12）横截面为半包围的框型，连接座（12）的开口端设有挂钩横杆（11）；所述电热元件支承座（8）的连接部上设有与连接挂钩（9）的钩接部相适应的挂钩槽（10）；其与设置该挂钩槽开口的平面相垂直；所述连接挂钩（9）两端为直角形挂钩部，该连接挂钩（9）的一端钩挂在挂钩横杆（11）上，另一端钩挂在挂钩槽（10）内。8.根据权利要求1所述的多晶硅坩埚烧结炉，其特征在于所述的加热系统包括五组加热元件组，所述炉体前门、后壁分别各设一组加热元件组；台车及炉体两侧面底部设一组加热元件组；炉体两侧面中部设一组加热元件组；以及炉体两侧面顶部设一组加热元件组；所述炉体顶部开有炉体出风口（13），炉体两侧壁分别开有进风口（14），所述台车（2）上设有与两侧壁上的进风口相联通的进风通道（15），以及台车上部开有与进风通道（15）的台车出风口（17）。9.根据权利要求8所述的多晶硅坩埚烧结炉，其特征在于所述的电加热元件包括电阻2CCNN102021660102021674AA权利要求书2/2页丝，所述炉体侧壁上的电阻丝的设置方式为：与坩埚上下两端角相适