适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置.pdf
静芙****可爱
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相关资料
适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置.pdf
本发明涉及一种适用于多晶硅坩埚烧结炉的电热场装置。它包括炉壁,设置在炉壁上的电热元件支承座,通过刚玉管支撑的电热元件,所述刚玉管的两端分别支承在横向相临的电热元件支承座上,其特征在于电热元件支承座的连接部通过连接组件与炉壁可更换式装配。本发明具有突出的实质性特点:电热元件支承座通过连接组件与炉壁呈镶嵌式可拆卸配合,通过拆卸连接组件,可方便的拆下电热元件支承座进行更换,不再额外破坏原本完好的保温层,使得维修更换更为方便,且维修工程小、成本低。?
多晶硅坩埚烧结炉.pdf
本发明涉及一种多晶硅坩埚烧结炉,它包括炉体,与炉体相配合的移动式台车,设置在炉体内的加热系统和排湿冷却系统,与加热系统和排湿冷却系统电气控制连接的电气控制系统,其特征在于所述炉体包括骨架,设置在骨架内壁的保温层结构,所述保温层结构包括纳米保温板。本发明具有突出的实质性特点:增设纳米保温板,保温效果好,保温层结构中的其他保温层厚度可以大为减少,从而减少了炉壁自身的蓄热,使炉子的升温和强制风冷降温的效率,大为提高缩短了生产周期;同时,提高了生产效率、达到节能效果。?
多晶硅铸锭用坩埚烧结炉的设计.pdf
电子工业专用设备EPEEquipmentforElectronicProductsManufacturing·本期专题·多晶硅铸锭用坩埚烧结炉的设计陈特超,李军阳,刘松,罗亮(中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙410111)摘要:多晶硅铸锭时是将硅材料放在一个耐高温容器即坩埚中将硅料熔化、冷却、长晶的过程。装硅料的容器必须耐高温,不挥发,一般采用氧化硅陶瓷制造。为了保证硅锭的纯度,在硅料放入前需在坩埚内表面喷涂一层隔离材料,然后将此材料与坩埚在高温下形成一体。坩埚烧结炉就是将此喷涂物与坩埚烧结起
电热烧结炉.pdf
一种电热烧结炉,包含一炉体、一循环桶、一废气抽送设备及一空气抽送设备,该炉体设置一内有一电热层的烧结腔室及一设在该炉体内底端且有多个通气孔及多条热气通道的置放层;利用该循环桶可使该炉体内电热烧结壳模残蜡所产生的废气,由该些热气通道从该炉体内送入连续循环燃烧废气,当该炉体内检测废气压力大时,利用该废气抽送设备将该炉体内的废气吸入,吸废气同时并藉该空气抽送设备供应空气予以帮助燃烧废气,当烧结程序完成开启该炉体的炉门,该废气抽送设备将废气压回该些热气通道及送至该炉体内燃烧,使废气燃烧完全,以达环保目的。
一种生产多晶硅石英坩埚的机械装置.pdf
本发明公开了一种生产多晶硅石英坩埚的机械装置,该装置属于熔融石英再加工领域,包括:球磨机(1)、均化机(2)、混料机(3)、坩埚模具(4)、烘干机(5)、窑炉(6、)车磨机(7);其特征是:球磨机(1)上设有熔融石英硅微粉进口(8)、球磨机(1)和均化机(2)间设有第一输送机(9),均化机(2)和混料机(3)间设有第二输送机(10),混料机(3)上设有辅料进口(11),混料机(3)和坩埚模具(4)间设有第三输送机(12),坩埚模具(4)和烘干机(5)间设有第四输送机(13),烘干机(5)和窑炉(6)间设有