多晶硅铸锭炉热场结构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102162125A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102162125A(43)申请公布日2011.08.24(21)申请号201110122386.X(22)申请日2011.05.12(71)申请人石金精密科技（深圳）有限公司地址518000广东省深圳市宝安区沙井街道办沙头茭塘工业区第三排第一栋一至二层(72)发明人南志华(74)专利代理机构深圳市世纪恒程知识产权代理事务所44287代理人胡海国(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称多晶硅铸锭炉热场结构(57)摘要本发明涉及一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体、设置在炉体内的隔热笼保温体及设置在隔热笼保温体内的坩埚，隔热笼保温体由上部保温体、下部保温体及保温底板构成一密封的热场腔室；上部保温体固定在炉体上；下部保温体的底部搁置于保温底板上，且该下部保温体通过提升机构可相对上部保温体上下滑动；坩埚放置于支撑结构中热交换台上；保温底板放置于支撑结构的支撑柱柱上进行固定。本发明当硅料加热熔化保温一段时间后，下部保温体在被提升的过程中，由于热场腔室内的上下高低温差，在硅的结晶面上形成一垂直的温度梯度场，通过控制散热和加热，使硅能定向结晶，提高了多晶硅铸锭的质量。同时缩短了工艺时间，降低了能耗，提高了单位产能。CN10265ACCNN110216212502162126A权利要求书1/1页1.一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体、设置在炉体内的隔热笼保温体及设置在隔热笼保温体内的坩埚，其特征在于，所述隔热笼保温体由上部保温体、下部保温体及保温底板构成一密封的热场腔室；所述上部保温体固定在所述炉体上；下部保温体的底部搁置于所述保温底板上，且该下部保温体通过提升机构可相对上部保温体上下滑动；所述坩埚放置于一支撑结构上，该支撑结构固定在炉体的下部；所述保温底板固定于所述支撑结构上。2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述炉体包括上炉体及下炉体，所述上炉体与下炉体卡扣连接。3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述上部保温体包括顶部保温板及侧面保温板；所述侧面保温板与所述上炉体之间设有连接块，该连接块将所述上部保温体固定于所述炉体上。4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述下部保温体包括四周封闭的侧保温板，所述侧保温板底端向外延伸有凸起，使得该下部保温体的横截面为L型；侧保温板的侧壁外表面紧贴所述侧面保温板的内壁，并可沿该内壁上下滑动，当下部保温体通过提升机构向上提升时，所述侧面保温板的底部顶住所述凸起的上表面。5.根据权利要求4所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述提升机构包括吊杆、连接板及连接杆，所述连接板位于炉体内及上部保温体的上方，吊杆一端与连接板上侧边固定连接，另一端延伸至炉体外；连接杆一端与连接板的下侧边固定连接，另一端与下部保温体的所述凸起固定连接。6.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，还包括：加热器及电极，所述加热器位于所述上部保温体与坩埚之间的空腔内，所述电极固定于所述顶部保温板上，其一端伸出炉体外与外部电极连接，其另一端伸入所述隔热保温体内并通过连接器与所述加热器连接。7.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，还包括进气管，与所述隔热笼保温体的热场腔室连通，其一端固定在所述顶部保温板上，其另一端从上炉体顶部伸出炉体外。8.根据权利要求1-7中任一项所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，还包括坩埚侧板、坩埚盖板及坩埚底板，坩埚侧板设置在坩埚的侧壁外，坩埚底板设置在坩埚的底部外，坩埚盖板扣合在所述坩埚侧板顶部且通过销钉与坩埚侧板固定连接。9.根据权利要求8所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述支撑结构包括：设置在所述坩埚侧板底部的热交换台，以及穿过所述保温底板并连接在所述热交换台与炉体底部之间的支撑柱；所述支撑柱将所述保温底板固定。10.根据权利要求9所述的多晶硅铸锭炉热场结构，其特征在于，所述吊杆至少为三根，所述连接杆至少为三根；吊杆与连接杆均沿所述连接板的四周均衡设置。2CCNN110216212502162126A说明书1/4页多晶硅铸锭炉热场结构技术领域[0001]本发明涉及一种多晶硅铸锭炉技术领域，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉热场结构。背景技术[0002]能源是当今世界的一大焦点问题，传统能源的大量使用，使环境污染问题日趋严重，对人类社会的发展构成了严重的危害。有效的利用清洁能源，新兴无污染能源是目前能源技术发展的必然趋势。太阳能是人类取之不尽用之不绝的绿色能源之一，在太阳能的利用中，光伏电池是目前最主要的一