一种坩埚罩、其制造方法和装有坩埚罩的坩埚炉.pdf
书生****aa
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一种坩埚罩、其制造方法和装有坩埚罩的坩埚炉.pdf
本发明提供一种用于对材料或物质进行加热处理的坩埚罩、其制造方法和装有坩埚罩的坩埚炉,由高温耐火材料压制烧结制成,坩埚罩为鼓形的无拼缝整体结构,高温耐火材料是包含50~70%重量的碳化硅和50~30%重量的石墨的碳化硅石墨烧结材料。坩埚炉包含坩埚炉体和置于坩埚炉体外围的线圈,坩埚炉体的上方的坩埚罩下端面与坩埚炉体的上端面紧密接触,坩埚罩下端面的外围与坩埚炉体上端面的外围平齐。坩埚罩采用鼓形整体结构,可以避免坩埚罩与坩埚炉线圈之间发生闪络放电效应,提高线圈和坩埚炉的使用寿命,降低成本。坩埚炉采用整体烧结成型的
单晶炉的石墨坩埚及其制造方法、坩埚组件和单晶炉.pdf
本发明公开了一种单晶炉的石墨坩埚及其制造方法、坩埚组件和单晶炉,石墨坩埚包括本体,本体为石墨件且限定出盛放腔,盛放腔的壁面上具有开凿部,开凿部处形成有凹槽,凹槽沿本体的周向延伸以形成为环形结构,其中,对坩埚半成品、与坩埚半成品适配的石英坩埚以及盛装于石英坩埚内的熔汤进行热场模拟,得到熔汤的高温区的等温线,在本体的纵截面上,凹槽的形状适于与等温线的部分的形状相一致,坩埚半成品构造成在坩埚半成品的内壁面上加工出凹槽以形成本体,高温区的温度高于熔汤的其余任一区域的温度。根据本发明的单晶炉的石墨坩埚,可以降低熔汤
坩埚、坩埚组件和单晶炉.pdf
本发明涉及一种坩埚,包括筒状主体和底座,所述筒状主体采用碳纤维复合材料制成,所述底座采用石墨材质制成。本发明还涉及一种坩埚组件和单晶炉。本发明实施例提供的坩埚包括筒状主体和底座,所述筒状主体包括多瓣碳纤维复合材料制成的坩埚瓣。相对于相关技术中的石墨材质的坩埚,在承载石英坩埚时,由于碳纤维复合材料与石英不发生反应,因此在拉晶过程中石英坩埚可与本发明实施例中的坩埚可实现紧密贴合,碳纤维复合材料具有很好的高温导热性能,可将热量均匀地传输至石英坩埚,有助于石英坩埚氧的均匀析出,有利于晶棒中径向氧均一性。
坩埚、坩埚组件和单晶炉.pdf
本发明涉及一种坩埚,包括坩埚主体,所述坩埚主体包括至少两瓣坩埚瓣,相邻两瓣坩埚瓣之间设置凹槽,所述凹槽内嵌设有遮挡条,所述遮挡条采用碳纤维复合材料制成。本发明还涉及一种坩埚组件和单晶炉。本发明实施例在相邻两瓣坩埚瓣之间开设凹槽,并在该凹槽内嵌设由碳纤维复合材料制成的遮挡条,由于碳纤维复合材料与石英坩埚不会发生反应,因此该坩埚装置可重复使用,提高装置的使用寿命,节约成本,降低成本,提高效率。
石英坩埚、坩埚组件和单晶炉.pdf
本发明涉及一种石英坩埚、坩埚组件和单晶炉,石英坩埚包括坩埚主体,所述坩埚主体的内部设置有分流筒,所述分流筒被配置为将所述坩埚主体沿其径向方向划分为位于所述分流筒内部的内腔和围设于所述分流筒的外围的外腔;所述分流筒的侧壁上设置有通孔以使得所述外腔和所述内腔连通。通过分流筒的设置将外核自然对流这一不稳定对流隔离至外腔,从而减缓由于不稳定对流引起的晶棒径向含氧量不均一的问题。