晶棒定位装置输出轴机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102321912A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102321912A(43)申请公布日2012.01.18(21)申请号201110295589.9(22)申请日2011.09.30(71)申请人上海汉虹精密机械有限公司地址200444上海市宝山区宝山城市工业园区山连路188号(72)发明人杨永录葛亮贺贤汉(74)专利代理机构上海德昭知识产权代理有限公司31204代理人缪利明(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称晶棒定位装置输出轴机构(57)摘要本发明晶棒定位装置输出轴机构，包括：输出轴，在所述输出轴的一端设有铜螺母；接近传感器，所述接近传感器设置在所述输出轴的外侧；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端与所述输出轴的一端连接；密封装置，所述密封装置与所述滑移柱塞的另外一端连接。本发明晶棒定位装置输出轴机构摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且结构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。CN10239ACCNN110232191202321920A权利要求书1/1页1.晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，包括：输出轴，在所述输出轴的一端设有铜螺母；接近传感器，所述接近传感器设置在所述输出轴的外侧；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端与所述输出轴的一端连接；密封装置，所述密封装置与所述滑移柱塞的另外一端连接。2.根据权利要求1所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，所述滑移柱塞为中空的设计，在所述滑移柱塞内设有弹簧。3.根据权利要求2所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，在所述弹簧的外侧设有铜螺母防转导槽。4.根据权利要求2所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，在所述滑移柱塞相对于与所述输出轴连接端的另外一端上设有石墨耳座。5.根据权利要求1所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，所述密封装置包括套杯以及设置在所述套杯一端的夹紧销。6.根据权利要求5所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，在所述套杯设有所述夹紧销的一端的内壁上设有平板防转导槽。7.根据权利要求1所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，所述接近传感器通过防滑平板与所述输出轴连接。8.根据权利要求4或5所述的晶棒定位装置输出轴机构，其特征在于，在所述套杯及所述滑移柱塞的外侧表面设有O形密封圈。2CCNN110232191202321920A说明书1/2页晶棒定位装置输出轴机构技术领域[0001]本发明涉及CZ法拉制单晶棒设备部件，特别是一种晶棒定位装置输出轴机构。背景技术[0002]现有生产领域使用的硅单晶炉，一般是单个上炉筒及拉晶系统，零部件数量繁多且不易加工制造，还会导致晶棒直接暴露在空气中容易氧化污染，所以上炉筒下方配备了独立的隔离阀。业内目前通常的做法是在硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，同时也不能晶棒进行有效地定位。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种结构紧凑，零部件数量少且容易加工制造，可实现晶棒有效定位的晶棒定位装置输出轴机构。[0004]本发明晶棒定位装置输出轴机构，包括：输出轴，在所述输出轴的一端设有铜螺母；接近传感器，所述接近传感器设置在所述输出轴的外侧；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端与所述输出轴的一端连接；密封装置，所述密封装置与所述滑移柱塞的另外一端连接。[0005]所述滑移柱塞为中空的设计，在所述滑移柱塞内设有弹簧。在所述弹簧的外侧设有铜螺母防转导槽。在所述滑移柱塞相对于与所述输出轴连接端的另外一端上设有石墨耳座。所述密封装置包括套杯以及设置在所述套杯一端的夹紧销。在所述套杯设有所述夹紧销的一端的内壁上设有平板防转导槽。所述接近传感器通过防滑平板与所述输出轴连接。在所述套杯及所述滑移柱塞的外侧表面设有O形密封圈。[0006]本发明晶棒定位装置输出轴机构摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且结构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。附图说明[0007]图1为本发明晶棒定位装置输出轴机构结构爆炸示意图；[0008]本发明晶棒定位装置输出轴机构附图中附图标记说明：[0009]1-输出轴2-滑移柱塞3-弹簧[0010]4-铜螺母5-接近传感器6-铜螺母防转导槽[0011]7-石墨耳座8-平板防转导槽9-防滑平板[0012]10-O形密封圈11-套杯12-夹紧销具体实施方式[0013]下面结合附图对本发明晶棒定位装置输出轴机构4作进一步详细说明。[0014]如图1所示，本发明晶棒定位装置输出轴机构，输出轴1的输出端为一段螺纹，螺纹部位装有铜螺母4，铜螺母4外缘的方