一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102337418A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102337418A(43)申请公布日2012.02.01(21)申请号201110334975.4(22)申请日2011.10.29(71)申请人西安瑞福莱钨钼有限公司地址710201陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路西段19号(72)发明人淡新国侯军涛李明强郭让民郭磊邓自南(74)专利代理机构西安创知专利事务所61213代理人谭文琰(51)Int.Cl.C22C1/04(2006.01)C22C27/04(2006.01)C23C14/34(2006.01)C23C14/14(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法(57)摘要本发明公开了一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法，该方法为：一、将铌粉和费氏平均粒度为3μm～8μm的钼粉按照1∶9的质量比置于混料机中混合得到混合料；二、对混合料进行振动压制，得到钼铌合金粉末压坯；三、将钼铌合金粉末压坯置于真空烧结炉内烧结，制得钼铌合金板坯；四、对钼铌合金板坯进行机械切割，得到所需尺寸的溅射靶材用钼铌合金板。本发明的方法工艺流程简单，易于实现工业化生产，成品率高，制备过程不会产生任何废料、废酸等污染物。采用本发明的方法制备的钼铌合金板的密度不低于9.85g/cm3，满足溅射靶材的要求。CN1023748ACCNN110233741802337431A权利要求书1/1页1.一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、将铌粉和费氏平均粒度为3μm～8μm的钼粉按照1∶9的质量比置于混料机中，在转速为40rpm～60rpm的条件下混合2h～4h，得到混合料；步骤二、对步骤一中所述混合料进行振动压制，得到钼铌合金粉末压坯；所述振动压制过程中的振动频率为2000Hz～6000Hz，压制力为10MPa～30MPa，保压时间为30s～60s；步骤三、将步骤二中所述钼铌合金粉末压坯置于真空烧结炉内烧结，待炉内温度升至1900℃～2100℃后保温6h～10h，制得钼铌合金板坯；步骤四、对步骤三中所述钼铌合金板坯进行机械切割，得到所需尺寸的溅射靶材用钼铌合金板。2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法，其特征在于，步骤一中所述钼粉的质量纯度不小于99.97％，铌粉的质量纯度不小于99.9％。3.根据权利要求1所述的一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法，其特征在于，步骤二中所述钼铌合金粉末压坯的相对密度为75％～80％。4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法，其特征在于，步骤三中所述烧结过程的升温速率不大于10℃/min。2CCNN110233741802337431A说明书1/3页一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法技术领域[0001]本发明属于钼铌合金板材制备技术领域，具体涉及一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法。背景技术[0002]钼铌合金材料由于其优异的导电，抗氧化性能以及较低的镀膜应力，在LCD(LiquidCrystalDisplay)生产中作为重要的配线用靶材有广泛的应用。且随着国内外LCD液晶电视，平板电脑，手机等产业的不断发展，高性能钼铌合金需求量与日俱增。该材料在使用过程中要求合金纯度高，靶材密度高，要求相对密度大于96.0％，晶粒均匀。但实际生产中，由于钼铌合金均属于置换固溶体合金，烧结致密难。采用普通等静压制后由于最大压制压力限制压坯密度较低，约为相对密度的60-65％，由于压坯孔隙度高，导致烧结后板材密度较低，相对密度小于95％。故采用传统的等静压制和烧结方法生产的钼铌合金难以满足溅射靶材用钼铌合金板材的生产要求。[0003]目前，国外仅有日立金属，奥地利普兰西等少数公司能批量生产高性能的钼铌板材。国内尚无厂家能批量生产。发明内容[0004]本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种工艺流程简单，易于实现工业化生产的溅射靶材用钼铌合金板的制备方法。采用本发明的方法制备的钼铌合金板的密度不低于9.85g/cm3，满足溅射靶材的要求。[0005]为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：[0006]步骤一、将铌粉和费氏平均粒度为3μm～8μm的钼粉按照1∶9的质量比置于混料机中，在转速为40rpm～60rpm的条件下混合2h～4h，得到混合料；[0007]步骤二、对步骤一中所述混合料进行振动压制，得到钼铌合金粉末压坯；所述振动压制过程中的振动频率为2000Hz～6000Hz，压制力为10MPa～30MPa，保压时间为30s～60s；[0008]步骤三、将步骤二中所