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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102348654102348654B(45)授权公告日2014.09.17(21)申请号201080011408.9CN1040355A,1990.03.14,最后一段、、、倒数第2段至第28(22)申请日2010.03.12页及附图3、6-8、10.(30)优先权数据JP2204339A,1990.08.14,说明书第2009-0599562009.03.12JP右下栏至左上栏第20行及附图2-3.(85)PCT国际申请进入国家阶段日US2002056292A1,2002.05.16,说明书第2011.09.0961段.(86)PCT国际申请的申请数据JP57034034A,1982.02.24,摘要及附图.PCT/JP2010/0018012010.03.12JP64072936A,1989.03.17,摘要及附图.CN1424269A,2003.06.18,全文.(87)PCT国际申请的公布数据CN1626467A,2005.06.15,全文.WO2010/103858JA2010.09.16JP2006056773A,2006.03.02,摘要及附(73)专利权人株式会社藤仓图.地址日本东京都审查员朱晓燕(72)发明人滨田贵弘(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人金世煜苗堃(51)Int.Cl.C03B37/014(2006.01)(56)对比文件CN1812938A,2006.08.02,说明书第3-5页具体实施方式及附图1-2.权权利要求书1页利要求书1页说明书12页说明书12页附图9页附图9页(54)发明名称光纤母材的制造方法(57)摘要本发明的光纤母材的制造方法包含脱水工序和烧结工序。在所述脱水工序中,将多孔玻璃母材收纳于脱水烧结炉的炉心管中,使用含氩气的脱水剂对所述多孔玻璃母材进行脱水处理。在所述烧结工序中,对经所述脱水工序脱水处理的所述多孔玻璃母材进行烧结。并且,在所述脱水工序中,在使导热系数比所述氩气的导热系数高的高导热系数气体残留在所述多孔玻璃母材内的状态下,开始对所述多孔玻璃母材进行升温。CN102348654BCN10234865BCN102348654B权利要求书1/1页1.一种光纤母材的制造方法,其特征在于,具备如下工序:脱水工序,将多孔玻璃母材收纳于脱水烧结炉的炉心管,使用含氩气的脱水剂对所述多孔玻璃母材进行脱水处理,和烧结工序,对经该脱水工序脱水处理的所述多孔玻璃母材进行烧结,其中,在所述脱水工序中,用导热系数比所述氩气的导热系数高的高导热系数气体来净化炉心管内之后,在使所述高导热系数气体残留在所述多孔玻璃母材内的状态下,开始对所述多孔玻璃母材进行升温,并且,在所述脱水工序中开始对所述多孔玻璃母材进行升温时,所述炉心管的容积的30%~90%被氩所置换。2.一种光纤母材的制造方法,其特征在于,具备如下工序:脱水工序,将多孔玻璃母材收纳于脱水烧结炉的炉心管,使用含氩气的脱水剂对所述多孔玻璃母材进行脱水处理,和烧结工序,对经该脱水工序脱水处理的所述多孔玻璃母材进行烧结,其中,在所述脱水工序中,用导热系数比所述氩气的导热系数高的高导热系数气体来净化炉心管内之后,在使所述高导热系数气体残留在所述多孔玻璃母材内的状态下开始对所述多孔玻璃母材进行升温,并且,在所述脱水工序中开始对所述多孔玻璃母材进行升温时,所述炉心管的容积的40%~80%被氩所置换。3.根据权利要求2所述的光纤母材的制造方法,其特征在于,在所述脱水工序中,在用所述高导热系数气体净化所述多孔玻璃母材的内部后,开始所述脱水处理。4.根据权利要求2所述的光纤母材的制造方法,其特征在于,所述高导热系数气体为选自氦气、空气、氮气、氖气中的至少一种。5.根据权利要求2所述的光纤母材的制造方法,其特征在于,所述高导热系数气体为氮气。2CN102348654B说明书1/12页光纤母材的制造方法技术领域[0001]本发明涉及利用多孔玻璃母材脱水烧结的光纤母材的制造方法。[0002]本申请主张基于2009年3月12日在日本申请的特愿2009-059956号的优先权,在此援引其内容。背景技术[0003]以往,作为石英系光纤制造用的光纤母材的制造方法,已知利用VAD法、OVD法等制造多孔玻璃母材,将构成该多孔玻璃母材的玻璃微粒(烟垢Soot)脱水烧结从而使其透明玻璃化,获得光纤母材的方法。作为对多孔玻璃母材进行脱水时的脱水剂使用氯(Cl2)、亚硫酰氯(SOCl2)、四氯化碳(CCl4)等,与非活性气体混合而向脱水烧结装置内供给。[0004]以往,作为运载、稀释等目的而向脱水剂混合的非活性气体,优先