一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体.pdf
海昌****姐淑
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一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体.pdf
本发明公开了一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体。该发热体选用短切纤维制备的纤维毡作为增强材料,然后以这种预制体为增强材料通过一定的工艺步骤制备:1、采用短切纤维;2、制备预制体;3、预氧化和炭化处理;4、沉积处理;5、浸渍处理;6、机加工和高温处理。这种发热体由于采用了短切纤维毡增强炭/炭复合材料并通过一定的工艺制备,具有很高的抗折强度和电阻稳定性,因此极大地延长了发热体的使用寿命,从而明显降低了单晶硅炉的使用成本。
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本发明公开了一种多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体。该发热体选用短切纤维制备的纤维毡作为增强材料,然后以这种预制体为增强材料通过一定的工艺步骤制备:1、采用短切纤维;2、制备预制体;3、预氧化和炭化处理;4、沉积处理;5、浸渍处理;6、机加工和高温处理。这种发热体由于采用了短切纤维毡增强炭/炭复合材料并通过一定的工艺制备,具有很高的抗折强度,因此极大地延长发热体的使用寿命,同时可以减少发热体的制造成本,从而明显降低了氢化炉的使用成本。
一种单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺.pdf
本发明公开了一种单晶硅炉用炭/炭复合材料坩埚的制备工艺,该方法采用聚丙烯腈基碳纤维编制的预制体,以天然气、丙烯、石油液化气的混合气体为碳源,氮气或氩气为载气,在立罐式沉积炉形成的均温热场内,定时切换管路的上进气与下进气,利用坩埚内外气体的压力差,实现均温法、压差法、强制气流法相结合,实现坩埚坯体整体的快速致密化,坩埚在300至350小时后,密度可达到1.6g/cm3以上,较传统自由沉积工艺大大缩短沉积时间,降低了生产成本。坩埚经机械加工后,用于单晶硅炉热场,炭/炭复合材料坩埚较热等静压石墨坩埚寿命提高了3
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