一种多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体.pdf
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一种多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体.pdf
本发明公开了一种多晶硅氢化炉用炭/炭复合材料发热体。该发热体选用短切纤维制备的纤维毡作为增强材料,然后以这种预制体为增强材料通过一定的工艺步骤制备:1、采用短切纤维;2、制备预制体;3、预氧化和炭化处理;4、沉积处理;5、浸渍处理;6、机加工和高温处理。这种发热体由于采用了短切纤维毡增强炭/炭复合材料并通过一定的工艺制备,具有很高的抗折强度,因此极大地延长发热体的使用寿命,同时可以减少发热体的制造成本,从而明显降低了氢化炉的使用成本。
一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体.pdf
本发明公开了一种单晶硅炉用炭/炭复合材料发热体。该发热体选用短切纤维制备的纤维毡作为增强材料,然后以这种预制体为增强材料通过一定的工艺步骤制备:1、采用短切纤维;2、制备预制体;3、预氧化和炭化处理;4、沉积处理;5、浸渍处理;6、机加工和高温处理。这种发热体由于采用了短切纤维毡增强炭/炭复合材料并通过一定的工艺制备,具有很高的抗折强度和电阻稳定性,因此极大地延长了发热体的使用寿命,从而明显降低了单晶硅炉的使用成本。
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