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高温真空炉的水冷电极.pdf
2023-06-20
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明轩****la
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高温真空炉的水冷电极.pdf
本发明公开了一种高温真空炉的水冷电极，包括中间设置有通孔的电极座，电极座中穿设有电极棒，电极棒上设置有环形安装凸台，电极座与电极棒的环形安装凸台之间设置有绝缘法兰，环形安装凸台的另一侧设置有铜法兰，电极棒中设置有冷却空腔，冷却空腔内设置有冷却水管，电极棒上靠近铜法兰的一端还设置有与冷却水管相连通的进水管和与冷却空腔相连通的出水管，电极棒的另一端设置有与加热器相连接的钼连接块，铜法兰上设置有法兰环，法兰环与所述绝缘法兰、电极座之间通过螺栓相连接，法兰环与所述铜法兰之间还设置有绝缘套。本发明适用于高温高真空环
2023-06-20
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一种高温真空炉水冷电极.pdf
本发明属于真空炉设备技术领域，具体地说是一种高温真空炉水冷电极。包括电极块、导电铜带、电极身、进水管、进出水座、水冷法兰及直角接头，其中电极身固定安装在所述水冷法兰上、并所述电极身与所述水冷法兰之间设置有绝缘密封部件，所述电极身内部设有冷却腔，所述进出水座设置在所述电极身的一端，所述进水管设置在进出水座上、并容置在电极身的冷却腔内，所述电极身的另一端两侧分别连接有导电铜带，所述导电铜带分别通过直角接头与电极块相连。本发明使用温度可达1700℃，并且可在腐蚀性气氛下使用，结构简单，密封性好，使用寿命长，生产
2023-06-18
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真空炉水冷电极装置.pdf
本发明涉及一种真空炉水冷电极装置，属于真空炉技术领域。其包括电极座、法兰连接座、绝缘套、连接板、圆螺母、盖帽、进水管、出水管、六角螺栓、衬套、夹体，所述电极座右端通过螺纹连接盖帽。所述进水管和出水管固定在盖帽上，进水管和出水管的左端部分位于电极座右端的空腔中，进水管和出水管的右端部分裸露在外。本发明结构简单、紧凑，合理；密封性能稳定可靠，降低了真空炉渗漏的风险；冷却效果好，增加了真空炉的工作稳定性。
2023-06-20
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本发明公布了一种电阻式真空高温炉水冷电极热防护屏，其采用难熔金属材质按水冷电极受辐射面形状制成多层隔热防护屏，层与层之间以同样材质的隔环隔离，并将防护屏安装于水冷电极下方，从而隔离来自发热体的高温辐射；另外避免热能通过冷却水带走，提高高温炉热效率；其典型应用是单晶硅及蓝宝石晶体生长炉。
2023-06-20
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电极组件及高温真空炉.pdf
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2023-06-16
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