电极组件及高温真空炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111006515A(43)申请公布日2020.04.14(21)申请号201911154350.2(22)申请日2019.11.22(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人陈志兵李旭刚(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人彭瑞欣王婷(51)Int.Cl.F27D7/06(2006.01)F27D9/00(2006.01)F27D11/10(2006.01)H01L21/67(2006.01)H05B7/12(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称电极组件及高温真空炉(57)摘要本申请实施例提供了一种电极组件及高温真空炉。电极组件设置于高温真空炉上，用于连接供电电缆及炉体内的加热器，包括：电极、冷却机构、密封机构及电极杆；电极位于炉体的外部，电极的上部与供电电缆连接，电极的底端与电极杆连接，电极杆穿过炉体的炉壁伸入炉体且与加热器连接；电极内具有轴向延伸设置的冷却腔，且冷却腔的开口位于电极的顶端；冷却机构设置于电极的顶端处且与电极连接，用于向冷却腔内通入冷却介质；密封机构用于密封电极与电极杆的连接处。本申请提供的电极组件不仅结构简单、紧凑，而且冷却机构与电极之间采用中通冷却方式，使得电极传热热阻较小，能更加快速的将电极的热量带走，从而提高了冷却效率。CN111006515ACN111006515A权利要求书1/1页1.一种电极组件，设置于高温真空炉上，用于连接供电电缆及所述高温真空炉炉体内的加热器，其特征在于，包括：电极、冷却机构、密封机构及电极杆；所述电极位于所述炉体的外部，所述电极的上部与所述供电电缆连接，所述电极的底端与所述电极杆连接，所述电极杆穿过所述炉体的炉壁伸入所述炉体且与所述加热器连接；所述电极内具有轴向延伸设置的冷却腔，且所述冷却腔的开口位于所述电极的顶端；所述冷却机构设置于所述电极的顶端处且与所述电极连接，用于向所述冷却腔内通入冷却介质；所述密封机构用于密封所述电极与所述电极杆的连接处。2.如权利要求1所述的电极组件，其特征在于，所述冷却机构包括进液接头、出液接头及转接接头，所述进液接头、所述出液接头、所述电极均连接至所述转接接头，所述进液接头用于将冷却介质通过所述转接接头导入所述冷却腔内，所述出液接头用于将冷却介质通过所述转接接头导出所述冷却腔内。3.如权利要求2所述的电极组件，其特征在于，所述冷却机构还包括进液管，所述进液管通过所述进液接头、所述转接接头伸入所冷却腔的底部，并且所述进液管外径小于所述冷却腔的内径。4.如权利要求1所述的电极组件，其特征在于，所述电极外周上靠近所述底端处设置有凸环；所述密封机构包括电极压板、法兰、密封环以及紧固件，所述电极压板通过所述紧固件与所述法兰的顶端连接，所述凸环夹设与所述电极压板与所述法兰之间，所述密封环夹设与所述凸环与所述法兰之间，所述法兰与所述炉体密封连接。5.如权利要求4所述的电极组件，其特征在于，所述密封机构还包括：绝缘件、密封绝缘环，所述绝缘件套设于所述电极及所述凸环上，且位于所述凸环及所述电极压板之间；所述密封绝缘环套设于所述电极上，且位于所述电极的外壁与所述法兰的内壁之间。6.如权利要求1至5任一项所述的电极组件，其特征在于，所述电极与所述电极杆通过螺纹连接，所述电极的底端设置有内螺纹孔，所述内螺纹孔的侧壁上开设有至少一个通孔；所述电极与所述电极杆之间还设置有垫片。7.如权利要求1至5任一项所述的电极组件，其特征在于，所述电极杆位于所述炉壁内且靠近所述炉体外部的部分上套设有绝缘套，所述电极杆位于所述炉体的炉壁内且靠近所述炉体内部的部分上套设有高温绝缘套；所述电极杆的底端设置有夹持槽和夹持紧固件，所述加热器通过所述夹持紧固件夹持在所述夹持槽中；所述电极杆中沿所述夹持槽还开设有狭缝。8.如权利要求1至5的任一所述的电极组件，其特征在于，还包括：电缆夹块，所述供电电缆通过所述电缆夹块与所述电极的上部连接。9.一种高温真空炉，其特征在于，包括炉体及如权利要求1至8的任一所述的电极组件。10.如权利要求9所述的高温真空炉，其特征在于，所述炉体的顶部设置有多个所述电极组件，且多个所述电极组件的冷却机构串联设置。2CN111006515A说明书1/6页电极组件及高温真空炉技术领域[0001]本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，本申请涉及一种电极组件及高温真空炉。背景技术[0002]目前，高温真空炉的炉体内为真空密封环境，一般炉体内的工作温度在1500℃以上，目前作为发热体的材料有石墨和难熔金属。石墨随着温度的升高机械强度逐渐增大，石墨有良好的导热性、热膨胀系数小、热