高温真空炉的测温装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102560652A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102560652A(43)申请公布日2012.07.11(21)申请号201210015787.X(22)申请日2012.01.18(71)申请人浙江昀丰新能源科技有限公司地址321037浙江省金华市金东区傅村镇杨家村(72)发明人徐永亮周波(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人逯长明魏晓波(51)Int.Cl.C30B29/20(2006.01)C30B35/00(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书44页页附图附图22页(54)发明名称高温真空炉的测温装置(57)摘要本发明公开了一种高温真空炉的测温装置，包括透光部件和红外测温仪，还包括挡板和驱动所述挡板遮挡或远离所述透光部件的动力部件，以及设于所述高温真空炉和所述红外测温仪之间的支架，该支架设有真空通道，所述透光部件设于真空通道的入口处，所述挡板设于所述真空通道的内部；所述动力部件的固定部与所述支架固定连接，活动部与所述挡板固定连接。挡板隔离透光部件和高温真空炉，避免高温真空炉的炉体及附件在高温条件下的挥发物凝结在透光部件上，提高温度测量的准确性；同时减少透光部件被污染的可能性，延长透光部件的使用寿命，降低透光部件的维护成本；同时，由于不再需要用惰性气体吹扫透光部件，减少对流换热，可以降低能耗成本。CN10256ACN102560652A权利要求书1/1页1.一种高温真空炉的测温装置，包括透光部件和红外测温仪，其特征在于，还包括挡板和驱动所述挡板遮挡或远离所述透光部件的动力部件，以及设于所述高温真空炉和所述红外测温仪之间的支架，该支架设有真空通道，所述透光部件设于真空通道的入口处，所述挡板设于所述真空通道的内部；所述动力部件的固定部与所述支架固定连接，活动部与所述挡板固定连接。2.根据权利要求1所述的高温真空炉的测温装置，其特征在于，所述动力部件具体为气缸；该气缸的缸筒的与所述支架固定连接，缸杆与所述挡板固定连接。3.根据权利要求2所述的高温真空炉的测温装置，其特征在于，所述真空通道具有侧孔，所述缸杆从所述侧孔进入所述真空通道，所述缸筒设于所述真空通道的外侧。4.根据权利要求3所述的高温真空炉的测温装置，其特征在于，所述透光部件具体为测温玻璃。5.根据权利要求1至4任一项所述的高温真空炉的测温装置，其特征在于，还包括设于所述挡板前侧的降温组件，该降温组件与所述支架固定连接。6.根据权利要求5所述的高温真空炉的测温装置，其特征在于，所述降温组件环绕所述真空通道，且与所述真空通道的外壁固定连接。7.根据权利要求6所述的高温真空炉的测温装置，其特征在于，所述降温组件包括与所述真空通道的外壁固定连接的冷却水通道，冷却水沿所述冷却水通道流通。2CN102560652A说明书1/4页高温真空炉的测温装置技术领域[0001]本发明涉及温度测量技术领域，尤其涉及一种高温真空炉的测温装置。背景技术[0002]高温真空炉在现代工业中应用于很多场合，其内部温度的控制与生产出的产品质量休戚相关，因此，对高温真空炉的炉温测量、监控是控制产品质量的重要手段。常用的测量高温真空炉的方法是利用红外测温仪，透过测温玻璃采集高温真空炉的温度信号。[0003]以蓝宝石单晶炉为例，蓝宝石单晶炉是一种用于蓝宝石单晶生长的常用设备，通常包括坩埚和加热器，加热器通电后，将在坩埚外部形成温度场，温度场对坩埚进行加热。泡生法蓝宝石单晶生长中，加热温度的变化对晶体的生长影响很大，最佳的引晶温度、合适的降温控制程序都有利于提高晶体的生长质量，晶体生长速率会随着加热温度的降低而快速增加。制定适合晶体生长的降温程序，没有一定的温度测量技术做参考，晶体品质很难保证。因此，采用红外测温仪测量坩埚的温度。[0004]但是，在蓝宝石单晶生长过程中，蓝宝石单晶炉的温度较高，其主体及附件内的金属挥发物容易凝结在温度较低的测温玻璃表面，遮挡红外测温仪有效测量用光波，使红外测温仪读数失真。为了提高温度测量的准确性，通常采用少量惰性气体吹扫测温玻璃，并每隔一到两个生长周期更换测温玻璃。这样的生产模式存在两个弊端：[0005]1)增加运营成本，由于炉内通惰性气体，产生对流换热，造成较大的热量损失，加热器功率相应提高，增加能耗成本；[0006]2)定期更换测温玻璃，增加了蓝宝石单晶炉的维护成本。[0007]上述弊端均不同程度地增加了高温炉的生产成本，因此，如何在确保温度测量准确性的基础上，降低高温炉的生产成本和维护难度，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。发明内容[0008]本发明的目的是提供一种高温真空炉的测温装置，该测温装置在不影响温度测量准确性的基础上，降低了高温真空炉的能耗成本和维护成本