真空炉测温装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107091696A(43)申请公布日2017.08.25(21)申请号201710465236.6(22)申请日2017.06.19(71)申请人济南力冠电子科技有限公司地址250119山东省济南市天桥区桑梓店镇舜兴路66号济南新材料产业科技园1号楼1层西区(72)发明人宋德鹏(74)专利代理机构山东众成清泰律师事务所37257代理人丁修亭(51)Int.Cl.G01K7/02(2006.01)G01K1/12(2006.01)G01K1/14(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称真空炉测温装置(57)摘要本发明公开了一种真空炉测温装置，应用于具有真空腔室的真空炉，所述真空炉测温装置包括：安装座；支架；直线驱动机构；波纹管，该波纹管的一端通过第一静密封结构固定安装在安装座上，另一端通过第二静密封结构固定安装在所述驱动端；以及热电偶，该热电偶的座端通过所述第二静密封结构装配在所述驱动端，该热电偶的本体则在过孔、安装孔以及中心孔所确定的方向上被直线驱动机构驱动而具有工作行程。依据本发明变动密封为静密封，从而提密封性能比较好。CN107091696ACN107091696A权利要求书1/1页1.一种真空炉测温装置，应用于具有真空腔室的真空炉，其中，在真空腔室内设有保温室，并且保温室与真空腔室的内壁面间留有给定距离，在保温室给定的位置开有过孔，真空腔室对位于过孔的壁开有安装孔；其特征在于，所述真空炉测温装置包括：安装座，固定安装在真空腔室上，并具有与安装孔对位的中心孔；支架，固定安装在安装座上，并在过孔的轴向远离真空腔室悬伸；直线驱动机构，安装在支架的悬伸端，且该直线驱动机构的驱动端与过孔相对；波纹管，该波纹管的一端通过第一静密封结构固定安装在安装座上，另一端通过第二静密封结构固定安装在所述驱动端；以及热电偶，该热电偶的座端通过所述第二静密封结构装配在所述驱动端，该热电偶的本体则在过孔、安装孔以及中心孔所确定的方向上被直线驱动机构驱动而具有工作行程。2.根据权利要求1所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述过孔位于保温室的侧面。3.根据权利要求1或2所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述过孔有一对，并且相应的两过孔在上下方向排列；相应的两热电偶共用一直线驱动机构。4.根据权利要求3所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述直线驱动机构包括：推板，为上下的条板，上端用于与位于上面的热电偶的座端连接，下端用于与位于下面的热电偶的座端连接；输出构件，安装在推板上下方向的中间；以及原动部分，用于驱动输出构件作直线运动。5.根据权利要求4所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述直线驱动机构为配有所述输出构件的气缸，该输出构件为气缸的推杆。6.根据权利要求4所述的真空炉测温装置，其特征在于，还包括平行于直线驱动机构驱动方向的导引组件。7.根据权利要求6所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述支架为龙门架，从而该支架具有：边框，匹配两安装孔而各设有一个；楣框，安装在边框悬伸的末端；相应地，所述导引组件包括：导套，固定安装在楣框上，导套的轴线平行于过孔轴线；导杆，导引于所述导套，该导杆则固定安装在推板上。8.根据权利要求7所述的真空炉测温装置，其特征在于，一边框背离于另一边框的侧面设有加强板。9.根据权利要求1所述的真空炉测温装置，其特征在于，第一静密封结构和第二静密封结构为法兰配合密封件的装配结构。10.根据权利要求9所述的真空炉测温装置，其特征在于，第二静密封结构配置为：在驱动端开有座孔，驱动端在座孔轴向的第一面与波纹管的法兰盘结合密封圈装配，第二面与热电偶的座结合密封圈装配。2CN107091696A说明书1/6页真空炉测温装置技术领域[0001]本发明涉及一种真空炉测温装置，具体是以热电偶为测温元件的真空炉测温装置。背景技术[0002]热电偶是真空炉主要的测温元件之一，其所测最高温度一般低于1800℃，若真空炉内温度高于这个温度，会使热电偶损坏或者寿命折损。[0003]一般而言，真空炉上会配置多个测点，多个测点的测温元件可以采用相同的测温元件，例如都采用热电偶，也可以采用不同的测温元件，例如某些测点采用热电偶进行测温，某些测点采用红外测温元件。其中红外测温属于非接触式测温元件，从而可以测量更高的温度，但在更高的温度条件下，需要保证低温测温元件不受损伤，因此需要对低温测温元件进行保护。[0004]目前，热电偶在真空炉上主要有两种装配方式，一种是热电偶固定安装在给定的测点，适用于所测最高温度低于热电偶测量范围高限的应用中；另一种则是通过滑动气密封结构将热电偶安装在给定测点，滑动方向为热电偶的轴向，当被测温度高于热电偶测量范围高限时，热电偶退出。但滑动