一种用于单晶炉设备的观测机构.pdf
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一种用于单晶炉设备的观测机构.pdf
本发明涉及单晶炉设备,具体地说是一种用于单晶炉设备的观测机构,包括驱动装置、传动装置、固定层玻璃、活动层玻璃及托架,其中驱动装置安装在单晶炉的座体上,所述托架通过传动装置与驱动装置连接,由驱动装置驱动旋转,在托架上放置有多个活动层玻璃;所述固定层玻璃安装在座体上,随托架旋转的活动层玻璃位于固定层玻璃的下方,遮挡住通道内的挥发物。本发明将观察窗玻璃分为固定层玻璃和活动层玻璃,其中固定层玻璃相对静止,活动层玻璃通过传动装置实现旋转切换,延长固定层玻璃的使用时间,无需频繁更换,使操作过程简化。
一种用于单晶炉的单晶提升机构及单晶炉.pdf
本发明涉及一种用于单晶炉的单晶提升机构,包括晶转组件、晶升组件和定滑轮组件,晶转组件的顶部与晶升组件相连,且定滑轮组件设置于晶升组件上。晶升组件包括连接底盘、箱体、卷丝结构和压线结构。卷丝结构能够缠绕多圈卷丝绳,且能够通过旋转对卷丝绳进行收放。压线结构设置于卷丝结构的一侧,当卷丝绳出现跳线的情况时,压线结构能够朝向卷丝结构的一侧压紧卷丝绳,以使卷丝绳与卷丝结构重新相抵。定滑轮组件设置于晶升组件上,定滑轮组件用于将卷丝绳旋转转变为上下升降。通过在卷丝结构的一侧设置压线结构,在卷丝绳出现跳绳的现象时,当卷丝绳
一种用于单晶炉的快捷化料机构.pdf
本发明涉及直拉硅单晶炉生长设备的辅助设备,旨在提供一种用于单晶炉的快捷化料机构。该种用于单晶炉的快捷化料机构包括加热电源、提升装置和辅助加热器;提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆,辅助加热器安装在提升装置的提升杆下端上,并通过连接电缆与炉体外部的加热电源连接,实现对石英坩埚内的多晶料进行辅助熔化。本发明通过在石英坩埚的上部设置一个辅助加热器,来有效减少晶体生长过程中的化料时间,从而大幅减少整个单晶生长周期,达到增产降本的目的。
用于单晶炉的外部装料机构.pdf
本发明涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备,旨在提供用于单晶炉的外部装料机构。该用于单晶炉的外部装料机构包括石英坩埚、真空吸盘、手动真空阀、真空表、密封圈和真空泵,真空吸盘上设有至少两个气咀,分别连接有手动真空阀和真空表,手动真空阀通过气咀与真空泵连接,真空吸盘通过密封圈和石英坩埚密封连接。本发明能在拉晶的任何时候将多晶硅料装入石英坩埚内,不需要等待擦炉完毕,再将石英坩埚先放入热场内再进行。使装料过程由全人工转变为机械化,节约了装料的时间,使操作更简单、便捷,同时也避免了装料过程中多晶硅原料碎屑掉入热场内带来
用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构.pdf
本发明涉及单晶硅制备设备,旨在提供一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构。该用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件,用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开。本发明既能使实现副炉室单独升降保持松开状态,也能使副炉室与隔离阀同步升降时保持锁紧状态,保证了副炉室和隔离阀同步升降时候的安全性。