一种用于单晶炉的快捷化料机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107815727A(43)申请公布日2018.03.20(21)申请号201711139173.1(22)申请日2017.11.16(71)申请人浙江晶盛机电股份有限公司地址312300浙江省绍兴市上虞区通江西路218号(72)发明人傅林坚曹建伟沈文杰李林胡建荣倪军夫叶钢飞沈兴潮王小飞(74)专利代理机构杭州中成专利事务所有限公司33212代理人周世骏(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种用于单晶炉的快捷化料机构(57)摘要本发明涉及直拉硅单晶炉生长设备的辅助设备，旨在提供一种用于单晶炉的快捷化料机构。该种用于单晶炉的快捷化料机构包括加热电源、提升装置和辅助加热器；提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆，辅助加热器安装在提升装置的提升杆下端上，并通过连接电缆与炉体外部的加热电源连接，实现对石英坩埚内的多晶料进行辅助熔化。本发明通过在石英坩埚的上部设置一个辅助加热器，来有效减少晶体生长过程中的化料时间，从而大幅减少整个单晶生长周期，达到增产降本的目的。CN107815727ACN107815727A权利要求书1/1页1.一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，包括加热电源、提升装置和辅助加热器；所述提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆；提升杆通过炉体上的通孔，提升杆的下端伸入在炉体内，提升杆的上端伸出在炉体外部；提升杆为空心结构，中间通过加热电源和辅助加热器之间的连接电缆；电动驱动装置安装在炉体外部并与提升杆连接，用于提供给提升杆上下升降的动力；手动旋钮设置在提升杆的上端，用于带动提升杆进行旋转；所述辅助加热器安装在提升装置的提升杆下端上，使辅助加热器能实现：在化料阶段时，通过提升装置悬挂在石英坩埚的正上方，化料结束后，再通过提升装置将加热器提升到一定高度，最后通过手动旋钮将辅助加热器旋到一边；辅助加热器为中心开有圆孔的加热器，辅助加热器通过连接电缆与炉体外部的加热电源连接，实现对石英坩埚内的多晶料进行辅助熔化。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，所述辅助加热器为圆环形的加热器，圆环的一侧开有缺口，缺口两端分别是辅助加热器的正极和负极，正负两极通过连接电缆与加热电源形成回路；辅助加热器的高温电阻范围在10～30mΩ之间。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，所述辅助加热器采用石墨材质的加热器。4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，所述提升装置采用钼材质的提升杆，能承受大于1500℃的高温。5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的快捷化料机构，其特征在于，所述加热电源采用高频直流电源。2CN107815727A说明书1/3页一种用于单晶炉的快捷化料机构技术领域[0001]本发明是关于直拉硅单晶炉生长设备的辅助设备领域，特别涉及一种用于单晶炉的快捷化料机构。背景技术[0002]单晶炉是将多晶硅转化成单晶硅工艺过程中不可缺少的设备，而单晶硅作为现代信息社会的主要支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，同时它也是发展计算机与集成电路、光伏发电与太阳能利用的主要功能材料。[0003]单晶炉的生长工艺流程主要为抽真空、检漏、压力化、熔料、稳定、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、停炉，其中化料过程主要是由加热电源给主加热器和底部加热器一定的功率，通过石墨加热器发热来对石英坩埚内的多晶料进行熔化，最终使得所有的块状多晶料熔化为液态料。在单晶的整个生长过程中，化料过程所用的时间占整个生长周期的比例大概为20％。参照附图1所示，现有技术是在石英坩埚3的底部和侧部分别设有一个底部加热器1和一个主加热器2，通过底部加热器1和主加热器2通电发热来将多晶料进行熔化。目前，单晶市场一直面临着降本、增产的局面，而通过降低化料时间来减少单晶生长周期可以有效的达到这一目的。[0004]因此，如何有效的降低化料时间，大幅减少单晶生长周期，是技术人员亟待解决的重要问题。发明内容[0005]本发明的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能大幅降低单晶生长过程中化料阶段所用时间的单晶炉快捷化料机构。为解决上述技术问题，本发明的解决方案是：[0006]提供一种用于单晶炉的快捷化料机构，包括加热电源、提升装置和辅助加热器；[0007]所述提升装置包括电动驱动装置、手动旋钮和提升杆；提升杆通过炉体上的通孔，提升杆的下端伸入在炉体内，提升杆的上端伸出在炉体外部；提升杆为空心结构，中间通过加热电源和辅助加热器之间的连接电缆；电动驱动装置安装在炉体外部并与提升杆连接，用于提供给提升杆上下升降的动力；