一种晶体夹持装置及区熔单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102943302A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102943302A(43)申请公布日2013.02.27(21)申请号201210410412.3(22)申请日2012.10.24(71)申请人北京京运通科技股份有限公司地址100176北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号(72)发明人周鹏张继宏徐振斌袁静(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司11291代理人黄志华(51)Int.Cl.C30B13/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书44页页附图附图22页(54)发明名称一种晶体夹持装置及区熔单晶炉(57)摘要本发明涉及区熔单晶生长炉技术领域，特别涉及一种晶体夹持装置和区熔单晶炉，用于减轻单晶体生长过程中产生的晃动，提高单晶体生长稳定性。本发明公开了一种晶体夹持装置，包括：夹晶固定盘，设置于夹晶固定盘中部的锁晶固定套，设置于夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第一次夹持的多个晶体夹持片机构，以及设置于夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第二次夹持的多个晶体夹持棒机构。在本发明中，利用晶体夹持片机构和晶体夹持棒机构对生长过程中的单晶体进行两次夹持，减轻单晶体生长过程中产生的晃动，从而提高单晶体生长稳定性。本发明同时还公开了一种区熔单晶炉，包括具有上述技术特征的晶体夹持装置。CN102943ACN102943302A权利要求书1/1页1.一种晶体夹持装置，其特征在于，包括：夹晶固定盘，设置于所述夹晶固定盘中部、具有导向孔的锁晶固定套，设置于所述夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第一次夹持的多个晶体夹持片机构，以及设置于所述夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第二次夹持的多个晶体夹持棒机构；其中，每一个所述晶体夹持片机构包括：与所述夹晶固定盘固定连接的托板支撑柱，与所述托板支撑柱铰接的夹持片托板，与所述夹持片托板一端连接的第一牵引丝，与所述第一牵引丝连接的第一牵引块，滑动装配在所述锁晶固定套顶部导向孔中的导向杆，且所述导向杆的上端设置有夹持片，下端与所述夹持片托板相抵；每一个所述晶体夹持棒机构包括：与所述夹晶固定盘固定连接的夹持棒支撑柱，与所述夹持棒支撑柱铰接的夹持棒，与所述夹持棒一端连接的第二牵引丝，且所述第二牵引丝的长度小于所述第一牵引丝的长度，以及与所述第二牵引丝连接的第二牵引块。2.如权利要求1所述的晶体夹持装置，其特征在于，所述夹持片具有圆弧形缺口。3.如权利要求1所述的晶体夹持装置，其特征在于，所述导向孔的中心线与竖直方向之间的夹角为锐角。4.如权利要求3所述的晶体夹持装置，其特征在于，所述导向孔的中心线与竖直方向之间的夹角小于30°，大于单晶体的圆锥母线与竖直方向之间的夹角。5.如权利要求1所述的晶体夹持装置，其特征在于，还包括设置于所述夹持棒一端的牵引柱，所述第二牵引丝与所述牵引柱连接。6.如权利要求1所述的晶体夹持装置，其特征在于，所述多个晶体夹持片机构和多个晶体夹持棒机构互相间隔的均匀分布在所述夹晶固定盘周边。7.如权利要求6所述的晶体夹持装置，其特征在于，所述晶体夹持片机构数量为三个；所述晶体夹持棒机构数量为三个。8.一种区熔单晶硅炉，其特征在于，包括如权利要求1-7任一所述的晶体夹持装置。2CN102943302A说明书1/4页一种晶体夹持装置及区熔单晶炉技术领域[0001]本发明涉及区熔单晶生长炉技术领域，特别涉及一种晶体夹持装置及区熔单晶炉。背景技术[0002]目前，区熔单晶硅的制备一般是在区熔单晶炉中完成的，其原理：将多晶硅棒竖直固定在上炉室的上主轴上，下端对准固定在下炉室内轴上的籽晶，高频电流通过线圈与多晶硅棒耦合产生涡流，使多晶硅棒下端熔化，熔接籽晶，控制上主轴向下移动，使多晶硅棒相对于熔区移动，从而生长成一根单晶体。[0003]但由于外界环境因素产生的振动及区熔单晶炉运行产生的振动，会使正在生长的单晶体产生晃动，特别是大尺寸单晶体晃动尤为明显，严重影响单晶体生长稳定性；因此，在制备单晶体过程中，如何减轻单晶体的晃动，提高单晶体生长稳定性成为本领域技术人员需要解决的问题。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种晶体夹持装置，用于减轻单晶体生长过程中产生的晃动，提高单晶体生长稳定性。[0005]为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：[0006]一种晶体夹持装置，包括：夹晶固定盘，设置于所述夹晶固定盘中部、具有导向孔的锁晶固定套，设置于所述夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第一次夹持的多个晶体夹持片机构，以及设置于所述夹晶固定盘周边用于对单晶体进行第二次夹持的多个晶体夹持棒机构；其中，[0007]每一个所述晶体夹持片机构包括：与所述夹晶固定盘固定连接的托板支撑柱，与所述托板支撑柱铰