一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108588815A(43)申请公布日2018.09.28(21)申请号201810712709.2(22)申请日2018.06.29(71)申请人天津市环欧半导体材料技术有限公司地址300384天津市滨海新区高新区华苑产业园区（环外）海泰东路12号(72)发明人万静郝大维李东李皓郭宝川刘承劼孙晨光王彦君孙健(74)专利代理机构天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211代理人杨慧玲(51)Int.Cl.C30B13/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置(57)摘要本发明提供了一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，包括旋转底盘、设于旋转底盘上的单晶夹持底座、设于单晶夹持底座上的铰接的拔片连接杆及竖直设置的钢丝；钢丝的上端与拔片连接杆的尾端连接，钢丝的下端与旋转底盘连接，钢丝上套设有一段具有弹性的毛细铜管，毛细铜管呈弯折状，钢丝位于所述毛细铜管内的一段呈与毛细铜管相同的弯折状。本发明所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置结构简单、制造成本低廉、能够实时快捷的调节钢丝长度。CN108588815ACN108588815A权利要求书1/1页1.一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，包括旋转底盘(1)、设于所述旋转底盘(1)上的单晶夹持底座(2)、设于所述单晶夹持底座(2)上的铰接的拔片连接杆(3)及竖直设置的钢丝(4)；所述钢丝(4)的上端与所述拔片连接杆(3)的尾端连接，所述钢丝(4)的下端与所述旋转底盘(1)连接，其特征在于：所述钢丝(4)上套设有一段具有弹性的毛细铜管(5)，所述毛细铜管(5)呈弯折状，所述钢丝(4)位于所述毛细铜管(5)内的一段呈与所述毛细铜管(5)相同的弯折状。2.根据权利要求1所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，其特征在于：所述毛细铜管(5)呈侧V字型结构。3.根据权利要求1所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，其特征在于：所述毛细铜管(5)呈波浪状结构。4.根据权利要求1所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，其特征在于：所述毛细铜管(5)的内壁与所述钢丝(4)的外表面相接触。5.根据权利要求1到4任一项所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，其特征在于：所述毛细铜管(5)位于所述钢丝(4)的中段。2CN108588815A说明书1/2页一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置技术领域[0001]本发明属于区熔单晶炉中单晶夹持装置领域，尤其是涉及一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置。背景技术[0002]随着区熔拉制单晶的工艺的日益完善，可拉制的单晶直径也越来越大，而在单晶的拉直过程中，单晶的夹持装置就显得尤为重要，在单晶夹持装置中连接拨片连接杆与炉底旋转底盘的钢丝长度的控制一直为夹持装置的技术难点，起到连接作用的钢丝如果长度过短，会造成夹持装置在使用时钢丝使用寿命的严重缩短甚至钢丝直接被拉断；若钢丝直径过长，则会使拨片连接杆松动，使得夹持装置无法良好的夹持固定住单晶。发明内容[0003]有鉴于此，本发明旨在提出一种结构简单、制造成本低廉、能够实时快捷的调节钢丝长度的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，以解决上述问题。[0004]为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：[0005]一种区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，包括旋转底盘、设于所述旋转底盘上的单晶夹持底座、设于所述单晶夹持底座上的铰接的拔片连接杆及竖直设置的钢丝；所述钢丝的上端与所述拔片连接杆的尾端连接，所述钢丝的下端与所述旋转底盘连接，所述钢丝上套设有一段具有弹性的毛细铜管，所述毛细铜管呈弯折状，所述钢丝位于所述毛细铜管内的一段呈与所述毛细铜管相同的弯折状。[0006]进一步的，所述毛细铜管呈侧躺的V字型结构。[0007]进一步的，所述毛细铜管呈波浪状结构。[0008]进一步的，所述毛细铜管的内壁与所述钢丝的外表面相接触。[0009]进一步的，所述毛细铜管位于所述钢丝的中段。[0010]相对于现有技术，本发明所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置具有以下优势：[0011]本发明所述的区熔单晶炉用可调节式单晶夹持装置，在钢丝上套设有耐高温、可塑性强、具有弹性恢复能力的毛细铜管，毛细铜管呈弯折状，钢丝位于毛细铜管内的一段呈与毛细铜管相同的弯折状，由于毛细铜管具有良好的弹性恢复能力，通过毛细铜管的弹性形变来实时控制钢丝的长度，使钢丝可以一直处于一种合适的拉紧状态，实现对钢丝长度的实时快捷的调节；通过一段弯折的毛细铜管实现钢丝长度的控制，结构简单、快捷有效，无需额外增加其他复杂结构，制造成本低；附图说明[0012]构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释