一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113061977A(43)申请公布日2021.07.02(21)申请号202110333475.2(22)申请日2021.03.29(71)申请人中环领先半导体材料有限公司地址214200江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道申请人天津中环领先材料技术有限公司(72)发明人孙健李伟凡王遵义刘琨孙晨光王彦君(74)专利代理机构天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211代理人薛萌萌(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B15/32(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构(57)摘要本发明提供了一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，包括上端与单晶硅连接的内轴组件、夹持单晶硅下端的夹持组件，所述内轴组件外侧设置夹持器大盘，所述夹持器大盘下侧固接下轴，所述夹持器大盘中部设置内轴组件穿过的过孔，所述下轴中部设置内轴组件穿过的通孔，所述夹持器大盘上表面固设夹持组件。本发明所述的内轴组件和下轴配合封闭夹持器大盘依次向下移动，减少单晶炸裂流熔时损伤内轴组件结构，同时通过夹持器大盘封闭盖住下轴上端更好的保护下轴内壁。CN113061977ACN113061977A权利要求书1/1页1.一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：包括上端与单晶硅连接的内轴组件(1)、夹持单晶硅下端的夹持组件(4)，所述内轴组件(1)外侧设置夹持器大盘(2)，所述夹持器大盘(2)下侧固接下轴(3)，所述夹持器大盘(2)中部设置内轴组件穿过的过孔，所述下轴(3)中部设置内轴组件穿过的通孔，所述夹持器大盘(2)上表面固设夹持组件(4)。2.根据权利要求1所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述内轴组件(1)包括轴尖(11)和设置于轴尖下侧的内轴(12)，所述轴尖(11)和内轴(12)之间设置轴尖导向环(13)，所述轴尖导向环(13)直径大于轴尖(11)直径；所述下轴(3)为圆筒型，所述轴尖导向环(13)设置于下轴(3)通孔内，所述轴尖导向环(13)外径与下轴(3)通孔内径对应。3.根据权利要求2所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述轴尖(11)上端固接有同轴的延长杆(14)，所述延长杆(14)上端设置籽晶夹头(15)，所述籽晶夹头(15)通过籽晶夹头固定座(16)安装在延长杆(14)上。4.根据权利要求3所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述籽晶夹头(15)上端、籽晶夹头固定座(16)下端、夹持器大盘(2)上端均设置防烫钼片。5.根据权利要求1所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述夹持组件(4)包括多个立柱(41)，多个立柱周向等距设置于夹持器大盘(2)上端面，多个立柱(41)通过紧固环(42)固接，所述紧固环(42)上端面对应立柱(41)外侧固接拨片柱(43)所述拨片柱(43)上端设置转轴，所述转轴处铰接朝向内轴组件(1)的销子拨片(44)，所述销子拨片(44)在临近内轴组件(1)的上端面垂直设置销子杆(45)，所述立柱(41)上端对应销子杆(45)设置斜孔，所述销子杆(45)上端垂直固接夹持片(46)；所述销子拨片(44)向远离内轴组件一侧延伸有硬质杆(47)，所述硬质杆(47)在远离销子拨片(44)的一端固接软钢丝(48)。6.根据权利要求5所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述夹持片(46)靠近内轴组件处有内凹圆弧(461)，所述内凹圆弧(461)与单晶硅下端扩肩侧壁贴合夹持。7.根据权利要求5所述的一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，其特征在于：所述夹持片(46)材质为防烫钼片。2CN113061977A说明书1/4页一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构技术领域[0001]本发明属于单晶硅生产领域，尤其是涉及一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构。背景技术[0002]生产单晶硅的质量要求比较高，但是常规内轴结构中夹持器大盘为非封闭结构，使内轴组件暴露在外面，如果下轴内壁烫伤，会造成内轴移动时出现抖动，严重会影响到引颈和扩肩的过程，造成拉肩失败，也会造成生产损失，所示设置一种夹持器大盘封闭并配合封闭的夹持器大盘的内轴和下轴就尤为重要。发明内容[0003]有鉴于此，本发明旨在提出一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，以内轴组件和下轴配合封闭夹持器大盘依次向下移动，减少单晶炸裂流熔时损伤内轴组件结构，同时通过夹持器大盘封闭盖住下轴上端更好的保护下轴内壁。[0004]为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：[0005]一种新型区熔单晶炉内轴及夹持结构，包括上端与单晶硅连接的内轴组件、夹持单晶硅下端