一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102992325A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102992325A(43)申请公布日2013.03.27(21)申请号201210519897.X(22)申请日2012.12.01(71)申请人西安超码科技有限公司地址710075陕西省西安市高新区高新路42号金融大厦1802室(72)发明人肖志超苏君明侯卫权张瑞谢英姿聂道俊李永军薛宁娟(74)专利代理机构西安创知专利事务所61213代理人谭文琰(51)Int.Cl.C01B33/021(2006.01)权利要求书权利要求书3页3页说明书说明书1212页页附图附图33页(54)发明名称一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种多晶硅还原炉用隔热罩及其制备方法，包括筒状底节、筒状中节和筒状顶节且三者由下至上组装成一个同轴安装于多晶硅还原炉内的筒状隔热罩体，筒状底节与其上部相邻的筒状中节之间、筒状顶节与其下部相邻的筒状中节之间以及上下相邻两个筒状中节之间均通过止口连接，筒状底节、筒状中节和筒状顶节的顶底部外侧均设有环形凸台；其制备方法包括步骤：需制备筒状隔热罩体尺寸确定、预制体尺寸确定、预制体制作、预制体烘干硬化定型、化学气相渗透增密处理、机加工处理和化学气相沉积涂层处理。本发明结构设计合理、实用价值高、制备步骤简便且制备效率高、效果好，所制备的隔热罩各方面性能优异。CN102935ACN102992325A权利要求书1/3页1.一种多晶硅还原炉用隔热罩，其特征在于：包括筒状底节（1）和扣装于筒状底节（1）上的筒状顶节（3），所述筒状底节（1）和筒状顶节（3）的外径和壁厚均相同，所述筒状底节（1）和筒状顶节（3）的外径均为1000mm～3000mm且二者的高度均为300mm～1000mm，所述筒状顶节（3）的底部与筒状底节（1）的顶部之间通过止口（11）进行连接；所述筒状底节（1）和所述筒状顶节（3）的顶底部外侧均沿圆周设置有一道环形凸台（10），所述环形凸台（10）的高度为20mm～100mm且其厚度为1mm～5mm；所述筒状底节（1）和筒状顶节（3）组装成一个同轴安装于多晶硅还原炉（6）内的筒状隔热罩体。2.按照权利要求1所述的一种多晶硅还原炉用隔热罩，其特征在于：还包括布设于筒状底节（1）和筒状顶节（3）之间的一节或多节筒状中节（2），所述筒状中节（2）的外径和壁厚均与筒状底节（1）和筒状顶节（3）的外径和壁厚相同；所述筒状底节（1）与其上部相邻的筒状中节（2）之间、筒状顶节（3）与其下部相邻的筒状中节（2）之间以及上下相邻两个筒状中节（2）之间均通过止口（11）进行连接；所述筒状中节（2）的顶底部外侧均沿圆周设置有一道环形凸台（10）；所述筒状底节（1）、筒状中节（2）和筒状顶节（3）由下至上组成一个同轴安装于多晶硅还原炉（6）内的筒状隔热罩体。3.按照权利要求1或2所述的一种多晶硅还原炉用隔热罩，其特征在于：所述筒状顶节（3）通过多个顶部固定螺栓（8）同轴安装在多晶硅还原炉（6）的炉体内，多个所述顶部固定螺栓（8）沿圆周方向均匀布设在筒状顶节（3）的顶部，且多个所述顶部固定螺栓（8）的螺栓杆均由筒状顶节（3）的内部向外穿出，所述多晶硅还原炉（6）的炉体顶部内侧对应设置有多个分别供多个所述顶部固定螺栓（8）固定的顶部固定螺母（9）；所述筒状底节（1）通过多个底部固定螺栓（13）同轴安装在多晶硅还原炉的炉体内，多个所述底部固定螺栓（13）沿圆周方向均匀布设在筒状底节（1）的底部，且多个所述底部固定螺栓（13）的螺栓杆均由筒状底节（1）的内部向外穿出，所述多晶硅还原炉的炉体底部内侧对应设置有多个分别供多个所述底部固定螺栓（13）固定的底部固定螺母（16）。4.按照权利要求3所述的一种多晶硅还原炉用隔热罩，其特征在于：所述顶部固定螺栓（8）和底部固定螺栓（13）均为炭/炭复合材料螺栓或带有防护结构的钢质螺栓，所述防护结构包括同轴套装在所述钢质螺栓外侧的圆环套（15）和布设在圆环套（15）内端部上且中部开有气孔的圆形帽（14），所述圆环套（15）和圆形帽（14）组成对所述钢质螺栓进行防护的防护套体；所述圆环套（15）和圆形帽（14）均为炭/炭复合材料或石墨材料。5.按照权利要求1或2所述的一种多晶硅还原炉用隔热罩，其特征在于：所述筒状顶节（3）的顶部沿圆周方向对应开有多个分别供多个所述顶部固定螺栓（8）安装的顶部螺栓安装孔或顶部固定凹槽（7），所述筒状底节（1）的底部对应开有多个分别供多个所述底部固定螺栓（13）安装的底部螺栓安装孔或底部固定凹槽（12）；所述筒状隔热罩体的侧壁上开有圆形通孔（4），所述圆形通孔（4）的数量、布设位置和大小均与多晶硅还原炉（6）的炉体上所设置观测孔（5）的数量、布设位置