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单晶炉的热屏.pdf
2023-06-19
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白凡****12
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单晶炉的热屏外胆及单晶炉.pdf
本公开涉及一种单晶炉的热屏外胆及单晶炉，本单晶炉的热屏外胆包括筒体、锅底和法兰环；所述锅底位于所述筒体的下方，所述锅底的轴心处具有开口，所述锅底的顶部连接于所述筒体的底部；所述法兰环与所述筒体的顶部拼接并套设于所述筒体的顶部，所述法兰环与所述筒体可拆卸地连接，所述法兰环与所述筒体之间具有第一拼缝，所述第一拼缝的截面构造为折线型。本单晶炉的热屏外胆通过将法兰环与筒体之间的第一拼缝的截面设置为折线型，使得外部的热量和/或硅蒸汽在穿过第一拼缝时受到阻碍，从而可以大大降低外部的热量和/或硅蒸汽完全穿过第一拼缝的概
2023-06-01
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单晶炉的热屏.pdf
本发明涉及一种单晶炉的热屏，属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种单晶炉的热屏，其特征在于：它内热屏层（1）和外热屏层（2），所述内热屏层（1）和外热屏层（2）之间设有保温层（3）。所述保温层（3）为软毡。这种单晶炉的热屏在内热屏层和外热屏层之间增设了保温层，该保温层的材料为软毡，其导热系数小，隔热性能好，使得内热屏层的温度不易传到外热屏层上，从而提高了热屏的保温性能，保证了单晶硅的正常生产。
2023-06-19
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单晶炉用热屏以及具有其的单晶炉.pdf
本发明公开一种用于单晶炉的热屏及使用其的单晶炉，所述热屏包括定位部，所述定位部用于与炉体连接，且所述定位部形成有上部开口端；和锥台部，所述锥台部上端与定位部相连接且下端形成有下部开口端，其中，所述锥台部由基体和位于基体内表面上的内层构成，形成所述内层的内层材料从包括硅、硅化合物、耐1400℃金属、硼化物、碳化物、氮化物、以及上述物质的混合物的组中选择。通过在单晶炉内的石英坩埚上方安装本发明的热屏，从而实现了多装料的同时避免了在装料时混入碳成分，因而能够在提高生产效率、降低生产成本的同时获得高品质的单晶。此
2023-06-20
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单晶炉热屏升降装置.pdf
本发明涉及单晶炉领域，尤其涉及一种导流筒提升机构。一种单晶炉热屏升降装置，包括直流伺服马达、第一转向传动机构、第二转向传动机构和提升机构；所述的第一转向传动机构包括第一联轴器、支撑座和齿轮转向箱；所述第二转向传动机构共有两个对称设置，第二转向传动机构包括第二联轴器、第三联轴器、底座、转轴、端盖、压盖和磁流体；所述提升机构包括滑轮、拉绳、压轮和挂钩。本发明由直流伺服马达通过软轴传动实现内导流筒和外导流筒的升降，避免了导流筒与单晶硅硅料相接触，减少对硅料的污染。改善了硅晶体的生长环境，使同一规格的石英坩埚装入
2023-06-20
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单晶炉热屏提取装置.pdf
本发明单晶炉热屏提取装置，包括：手持杆；连接环，所述连接环设置在所述手持杆下方，所述连接环通过连接杆与所述手持杆连接；连接臂，所述连接臂的一端与所述连接环连接。所述连接臂的数量为三根，三根所述连接臂呈均匀分布。本发明单晶炉热屏提取装置结构简单，其次在现场操作中使用方便，牢固可靠；在取高温热屏作业时，直接利用工装将高温热屏安全取出，有效的避免了由于高温对人身造成的安全隐患。并且可以在温度降低前取出热屏，加快热场取出的进行。减少等待时间一小时，缩短运行时间，降低生产成本。
2023-06-19
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