单晶炉热屏升降装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102146584A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102146584A(43)申请公布日2011.08.10(21)申请号201110099448.X(22)申请日2011.04.20(71)申请人宁夏日晶新能源装备股份有限公司地址753000宁夏回族自治区石嘴山市经济开发区欣盛路16号(72)发明人吕金龙(74)专利代理机构上海科琪专利代理有限责任公司31117代理人伍贤喆朱丽琴(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图3页(54)发明名称单晶炉热屏升降装置(57)摘要本发明涉及单晶炉领域，尤其涉及一种导流筒提升机构。一种单晶炉热屏升降装置，包括直流伺服马达、第一转向传动机构、第二转向传动机构和提升机构；所述的第一转向传动机构包括第一联轴器、支撑座和齿轮转向箱；所述第二转向传动机构共有两个对称设置，第二转向传动机构包括第二联轴器、第三联轴器、底座、转轴、端盖、压盖和磁流体；所述提升机构包括滑轮、拉绳、压轮和挂钩。本发明由直流伺服马达通过软轴传动实现内导流筒和外导流筒的升降，避免了导流筒与单晶硅硅料相接触，减少对硅料的污染。改善了硅晶体的生长环境，使同一规格的石英坩埚装入硅料的重量增加10%以上，结构简单，布局合理，使用方便，大大提高了工作效率。CN1024658ACCNN110214658402146586A权利要求书1/1页1.一种单晶炉热屏升降装置，其特征是：包括直流伺服马达(10)、第一转向传动机构、第二转向传动机构和提升机构；所述的第一转向传动机构包括第一联轴器(21)、支撑座(22)和齿轮转向箱(23)，所述的直流伺服马达(10)通过支撑座(22)固定安装在齿轮转向箱(23)上，直流伺服马达(10)的输出轴通过第一联轴器(21)与齿轮转向箱(23)的输入端相连；所述第二转向传动机构共有两个对称设置，第二转向传动机构包括第二联轴器(31)、第三联轴器(32)、底座(33)、转轴(34)、端盖(35)、压盖(36)和磁流体(37)，所述第二联轴器(31)的输入端与齿轮转向箱(23)的输出端相连，第二联轴器(31)的输出端通过软轴(38)与第三联轴器(32)的输入端相连，第三联轴器(32)通过磁流体(37)固定在端盖(35)上，所述的转轴(34)一端装入磁流体(37)内与第三联轴器(31)的输出端相连，转轴(34)的另一端装有轴承(39)，轴承(39)通过压盖(36)安装在端盖(35)上，所述的底座(33)固定在端盖(35)的底部；所述提升机构包括滑轮(41)、拉绳(42)、压轮(43)和挂钩(44)，所述的滑轮(41)安装在转轴(34)上，压轮(43)安装在底座(33)上，所述拉绳(42)一端固定在滑轮(41)上，拉绳(42)另一端与挂钩(44)相连，压轮(43)定位拉绳(43)。2.如权利要求1所述的单晶炉热屏升降装置，其特征是：该热屏升降装置还包括转动限位机构，所述转动限位机构包括光电限位开关(51)和感应挡条(52)，所述光电限位开关(51)通过支撑板(53)固定在齿轮转向箱(23)上，所述感应挡条(52)固定在第二联轴器(31)上。3.如权利要求1或2所述的单晶炉热屏升降装置，其特征是：所述的拉绳(42)为钨丝绳。2CCNN110214658402146586A说明书1/2页单晶炉热屏升降装置技术领域[0001]本发明涉及单晶炉领域，尤其涉及一种导流筒提升机构。背景技术[0002]单晶炉是生产集成电路、太阳能及其他半导体行业原材料的重要设备。单晶炉是根据(C-ZMethod)原理，在氩气体炉体内通过高纯等静电石墨加热器以高温将硅材料熔化，自动控制籽晶提升(旋转)机构、坩埚提升（旋转）机构、CCD直径控制系统、温度测定系统等部件的精密配合进行生长。[0003]热屏升降装置的作用如下：在单晶硅装料过程中，用热屏升降装置将导流筒提起，增加了石英坩埚的空间，使石英坩埚内能装入更多的硅料。这样在化料过程中，导流筒与液面不会有接触，避免导流筒沾上材料液体，使晶体生长有了更好的环境。同时，保护了热场，提高了材料的利用率。发明内容[0004]本发明所要解决的技术问题是提供一种单晶炉热屏升降装置，该升降装置由直流伺服马达通过软轴传动实现内导流筒和外导流筒的升降，结构简单，布局合理，使用方便。[0005]本发明是这样实现的：一种单晶炉热屏升降装置，包括直流伺服马达、第一转向传动机构、第二转向传动机构和提升机构；所述的第一转向传动机构包括第一联轴器、支撑座和齿轮转向箱，所述的直流伺服马达通过支撑座固定安装在齿轮转向箱上，直流伺服马达的输出轴通过第一联轴器与齿轮转向箱的输入端相连；所述第二转向传动机构共有两个对称设置，第二转向传动机构包