一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103232024A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103232024103232024A(43)申请公布日2013.08.07(21)申请号201310119645.2(22)申请日2013.04.08(71)申请人苏州大学地址215123江苏省苏州市工业园区仁爱路199号(72)发明人陈涛孙立宁刘吉柱潘明强王阳俊陈立国刘锦勇(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人常亮(51)Int.Cl.B81C3/00(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图2页附图2页(54)发明名称一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备(57)摘要本发明公开了一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，包括机壳、控制系统与键合系统，键合系统包括至少一个键合炉、与键合炉对应设置的键合模块、带动键合炉与键合模块移动调整的驱动机构、识别键合元件所在位置的检测机构、将键合元件逐个输送至所述键合炉上进行键合处理的上料机构；通过设置检测机构、上料机构与键合炉、键合模块配合作用，实现了自动化识别、自动化键合的目的，通过将正、负电极弹片上下设置，在下压气缸下行的过程中逐步的将长玻璃柱体压紧固定于硅片上，正、负电极弹片分别与硅片、长玻璃柱体相接触，实现长玻璃柱体型传感器的批量生产，键合过程通过控制系统全自动控制，提高键合精度与生产效率，降低键合成本。CN103232024ACN10324ACN103232024A权利要求书1/1页1.一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，用于键合元件硅片与长玻璃柱体的键合，该设备包括机壳、控制系统与键合系统，其特征在于，所述键合系统包括至少一个键合炉、与所述键合炉对应设置的键合模块、带动所述键合炉与所述键合模块移动调整其水平位置的驱动机构、识别键合元件所在位置的检测机构、将键合元件逐个输送至所述键合炉上进行键合处理的上料机构；所述键合炉一侧设置有放置键合成品的料盒，以及将硅片与长玻璃柱体依次均匀排布的分片格，所述分片格位于所述检测机构的下方，所述料盒与所述分片格随所述键合炉同步移动；所述键合模块包括下压气缸、水平设置于所述下压气缸上的绝缘杆、位于所述绝缘杆前端的托架；所述托架上设置有用于压紧固定键合元件的压头，所述托架的至少一侧设置有负电极弹片，所述绝缘杆下端设置有正电极弹片，所述正电极弹片与硅片接触，所述负电极弹片与长玻璃柱体接触，所述负电极弹片高于所述正电极弹片设置。2.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述键合炉包括键合炉体，所述键合炉体上设置有用于吸附固定硅片的吸附孔。3.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述键合炉上还设置有挡块，下压气缸下行时负电极弹片可在挡块的限定下向内压缩与长玻璃柱体接触。4.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述负电极弹片的前端向内弯曲，且其端部设置有弧形卡口，便于与长玻璃柱体外壁相接触。5.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述键合炉为至少两个，交替键合工作。6.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述上料机构包括吸附手、带动所述吸附手运行的X轴滑动平台、Y轴滑动平台以及Z轴滑动平台，所述吸附手前端设置有吸头。7.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述检测机构为显微镜。8.如权利要求1所述的用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备，其特征在于，所述驱动机构包括X轴电动滑台与Y轴电动滑台，所述驱动机构与所述键合炉间还设置有隔热组件。2CN103232024A说明书1/4页一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备技术领域[0001]本发明涉及电子元器件的键合技术领域，具体涉及一种用于长玻璃柱体阳极键合的自动化键合设备。背景技术[0002]MEMS技术是在IC技术基础上发展起来的，但MEMS器件具有多样性和复杂性，主要表现在：（1）功能的多样性，有光学MEMS、生物MEMS、射频MEMS等；（2）结构的多样性，有二维结构、二维半结构、三维结构，还有运动部件；（3）接口和信号种类的多样性，有电接口、光接口、与外界媒质的接口；（4）材料的多样性，包括结构材料、导电材料、功能材料、绝缘材料等。不同的MEMS其结构和功能相差很大，其应用环境、市场需求量也大不相同，最理想的MEMS是它的整体结构，但是，基于不同加工工艺、具有复杂的几何尺寸和不同材料的MEMS单元，很难集成在一体。基于现有MEMS工艺要制作将传感、驱动和机械部件融为一体的复杂微系统很困难。要完成MEMS