一种卧式多靶真空溅射或离子镀膜机.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103290373A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103290373103290373A(43)申请公布日2013.09.11(21)申请号201310177002.3(22)申请日2013.05.14(71)申请人宁波韵升股份有限公司地址315040浙江省宁波市高新区扬帆路1号申请人宁波韵升机电设备有限公司宁波韵升磁体元件技术有限公司(72)发明人周小平翁惠军杨庆忠(74)专利代理机构宁波天一专利代理有限公司33207代理人徐良江(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图4页附图4页(54)发明名称一种卧式多靶真空溅射或离子镀膜机(57)摘要一种卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，包括镀膜机炉体、镀膜机中的传动输出部件、弧靶、溅射靶、真空抽吸口和工件架，镀膜机炉体内分为二个区域，区域一布置多个弧靶，多个弧靶设置在镀膜机炉体的下方靠近镀膜机炉体内壁，区域二布置多个溅射靶，多个溅射靶设置在镀膜机炉体中心上方的对应工件架中空位置的镀膜机炉体内腔中，工件架设置放置工件的转动件和动力输入机构，工件架进入镀膜机炉体内时转动件可以在弧靶和溅射靶之间通过，工件架的动力输入机构与镀膜机中的传动输出部件耦合而带动转动件转动，镀膜机炉体中心或靠近中心设有真空抽吸口。本发明有效防止弧靶与溅射靶的相互污染，提高了镀层效率和镀层质量。CN103290373ACN103297ACN103290373A权利要求书1/1页1.一种卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：包括镀膜机炉体、镀膜机中的传动输出部件、弧靶、溅射靶、真空抽吸口和工件架，镀膜机炉体内分为二个区域，区域一布置多个弧靶，多个弧靶设置在镀膜机炉体靠近镀膜机炉体内壁，区域二布置多个溅射靶，多个溅射靶设置在镀膜机炉体对应工件架中空位置的镀膜机炉体内腔中，工件架设置放置工件的转动件和动力输入机构，工件架进入镀膜机炉体内时转动件可以在弧靶和溅射靶之间通过，工件架的动力输入机构与镀膜机中的传动输出部件耦合而带动转动件转动，镀膜机炉体中心或靠近中心设有真空抽吸口。2.根据权利要求l所述的卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：所述多个弧靶设置在镀膜机炉体的下方靠近镀膜机炉体内壁，多个溅射靶设置在镀膜机炉体中心上方的对应工件架中空位置的镀膜机炉体内腔中。3.根据权利要求l所述的卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：所述真空抽吸口面积占镀膜机炉体内壁围成的面积的20%~60%。4.根据权利要求3所述的卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：所述真空抽吸口面积占镀膜机炉体内壁围成的面积的30%~45%。5.根据权利要求l所述的卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：所述溅射靶是圆柱体结构，并且可围绕圆柱体轴心旋转。6.根据权利要求l所述的卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：所述溅射靶分为相对排列的二组，一组溅射靶靠近镀膜机炉体内壁，另一组溅射靶设置在镀膜机炉体中心上方的对应工件架中空位置的镀膜机炉体内腔中。7.根据权利要求l所述的卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：弧靶区域和溅射靶区域设有屏蔽挡板分隔。8.根据权利要求1所述的卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：所述转动件包括转笼行星架和转笼，转笼行星架安装多个转笼驱动部件，每个转笼驱动部件装有转笼，动力输入机构驱动转笼行星架转动，转笼行星架带动动力传递件运动，动力传递件与安装在工件架外支架上的链轮啮合的同时带动多个转笼驱动部件转动，转笼驱动部件带动转笼转动，使转笼行星架公转与转笼自转。9.根据权利要求1所述的卧式多靶真空溅射或离子镀膜机，其特征在于：所述转笼行星架与转笼驱动部件的传动均为链轮，动力传递件为链条。2CN103290373A说明书1/3页一种卧式多靶真空溅射或离子镀膜机技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜技术领域，特别涉及用于部分替代电镀工艺的卧式多靶真空溅射或离子镀膜机。背景技术[0002]电镀在工业中应用已久，但由于在电镀过程中有三废排放对环境污染严重，需大量投资治理又难根治，近些年来国内外进行了广泛的研究，部分采用离子镀代替电镀技术，特别是立式多靶真空溅射或离子镀膜机得到了较快的发展，主要以挂镀为主，其缺点是比较适合特定工件的镀膜，与电镀比被镀件的适应性较差，很难实现工件滚镀的效果。[0003]卧式多靶真空溅射或离子镀膜机目前在加速发展中，主要用于滚镀小形工件，如螺钉、螺母、多边形薄片、圆环、圆片、各种多边形块件和易碎工件如磁性材料各种形状的多边形块件等。[0004]卧式多靶真空溅射或离子镀膜机的滚镀技术，目前大多处于小批试产阶段，相对于产业化应用还有很多技术难题需要攻克，