一种新型单晶炉顶部安全阀.pdf

本发明涉及单晶炉领域，尤其涉及一种新型单晶炉顶部安全阀，一种新型单晶炉顶部安全阀，包括阀体、阀芯、弹簧、铰接法兰、安装法兰，所述阀芯和弹簧均设在阀体内部，弹簧设置在阀芯后端，阀芯前端工作面为锥面，所述阀体内部与阀芯工作面相对处为与阀芯锥面配合的锥面，所述铰接法兰设在阀体一端，铰接法兰与安装法兰铰接，安装法兰与单晶炉炉体连接，该阀在炉压升高时能自动打开放气，避免了炉体爆裂危险，保证了安全生产，并且可以通过锁紧扣打开阀，清扫方便，避免外部气体或污染物进入到炉内。

2023-06-19

10

222KB

一种新型单晶炉坩埚.pdf

本发明涉及一种新型单晶炉坩埚，它包括坩埚底座和坩埚圆筒壁，它们组成坩埚本体，在所述坩埚底座底部设有定位口，在所述坩埚底座上部内侧设有凸边，在所述坩埚圆筒壁下部内侧设有凹口，所述坩埚底座和坩埚圆筒壁通过凸边和凹口匹配定位固定，所述坩埚底座为石墨坩埚底座，所述坩埚圆筒壁为碳碳坩埚筒壁，所述坩埚本体为圆柱形，所述坩埚底座的内底为弧形凹底，外底为圆形平底。本发明使用寿命长，节约石墨，运输方便，制作方便。

2023-06-18

10

320KB

新型单晶炉.pdf

本申请提供了一种新型单晶炉，其包括主炉室和副炉室，副炉室与主炉室连通，其中，该新型单晶炉还包括料室，料室上设置有加料口，料室通过加料口与主炉室连通。料室中设置有加料机构，加料机构可伸缩地穿设在加料口中，用于穿过加料口并向主炉室内的坩埚中加料。本申请提供的新型单晶炉，通过设置料室，实现了在旋出单晶棒的过程中进行加料操作，有效缩短了旋出单晶棒和加料操作共同消耗的时间，提升了生产效率。

2023-06-16

10

798KB

一种单晶炉用新型重锤.pdf

本发明公开了一种单晶炉用新型重锤，主要内容为：包括上圆柱体、键槽、中间锥体、丝孔和下圆柱体；所述上圆柱体的直径为28mm，上圆柱体高度为170mm，中间锥体小端与上圆柱体底端连接，中间锥体的高度为30mm，中间锥体的大端与下圆柱体的顶端连接，下圆柱体的直径为58mm，上圆柱体高度为170mm，上圆柱体上设有键槽，下圆柱体中心轴线上设有丝孔。

2023-06-18

10

160KB

一种新型单晶炉导流筒.pdf

新型单晶炉导流筒，包括导流筒、导流层、直管区、过渡区、扩张区。导流筒至上而下的口径依次增大；导流层设置在导流筒内壁上，增加壁面的光滑度，减少了气体与避免之间的摩擦扰动；直管区、过渡区、扩张区分别位于导流筒的上部、中部、下部。氩气经过这些区域时，流道面积不断增大，流速越来越小，气流波动逐渐减低，同时在导流体内部设置导流层，可以增加壁面的光滑度，减少了气体与避免之间的摩擦扰动，这样氩气流在其中自上而下流动时气流强度减弱，降低了气流产生的湍流几率，减小了单晶硅棒晃动、液面波动等现象，大大提高了单晶炉的工作效率，

2023-06-19

10

398KB