单晶炉真空管道清洁器.pdf
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单晶炉真空管道清洁器.pdf
本发明涉及一种单晶炉真空管道清洁器,包括手柄和手柄下端固定连接的板,所述板前端为斜边,板前端中心往两边开有V型凹槽。本发明结构简单、使用方便,斜边和凹槽使板和真空管道的内壁连续接触两次,使真空管道内壁附着的挥发物和燃烧产物能清洁得更彻底,效率更高。
单晶炉真空系统用自动清洁过滤器.pdf
单晶炉真空系统用自动清洁过滤器,包括置于单晶炉与真空泵之间的过滤罐、固定在过滤罐中的过滤筒以及能够沿过滤筒圆周方向转动的清扫毛刷,清扫毛刷能够在圆周转动过程中清洁过滤筒表面。过滤罐中设有过滤筒以及能够沿过滤筒圆周方向转动的清扫毛刷,清扫毛刷能够在圆周转动过程中清洁过滤筒表面,用于阻止硅单晶拉制过程中产生的气体颗粒进入真空泵造成真空泵损坏;同时,自动清洁,既节约了人力,又避免有毒有害物质对人员的伤害。
一种单晶炉真空管道清理方法.pdf
本申请公开了一种单晶炉真空管道清理方法,在长晶加热时,向真空管道内通入含氧气体,所述含氧气体与所述真空管道内壁上附着的SiO
一种单晶炉真空管道清理装置.pdf
本申请公开了一种单晶炉真空管道清理装置,包括真空管道和真空泵,还包括:与所述真空管道连通的供气管道,用于向所述真空管道内通入含氧气体;设置在所述供气管道上的通断阀。本申请中的单晶炉真空管道清理装置从长晶加热开始,打开供气管道上的通断阀,向真空管道中通入含氧气体,使真空管道内壁上附着的SiO
真空清洁器.pdf
本发明公开了一种电池供电式真空清洁器(602),包括:电动机,其与用于产生气流的风扇接合;主体(604),其具有把手(606);污浊空气通道(610),其具有污浊空气入口(612);电池组(900),其容纳用于给电动机供电的至少一个可充电电池;以及污物分离装置(8),其位于所述风扇产生的气流的路径中,其中所述污物分离装置包括:中空的大致圆筒形污物容器(120、130),其具有纵向中心轴线;以及空气入口,其通入所述污物容器,其中,所述空气入口与所述污浊空气通道连通,并且所述电池组具有横向于所述中心轴线的曲线