一种超薄圆锯片的加压热处理设备及其应用方法.pdf
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一种超薄圆锯片的加压热处理设备及其应用方法.pdf
本发明公开了一种超薄圆锯片的加压热处理设备,包括下支架,安装在下支架上的箱式炉体,与箱式炉体的置料口匹配的升降炉门,在箱式炉体内带有至少两个安装位的安装底座,与安装位对应的均热式夹持装置,设置于安装底座上的热电偶,设置于箱式炉体壁上的导风槽,为箱式炉体内提供气流动力的风机,与下支架连接的上支架,安装于上支架上并与升降炉门连接的升降机构,从箱式炉体上部伸入其内部的压杆,为压杆提供压力的液压传导机构。本发明通过液压驱动的压力结构对待加工的刀具基体进行加压,并在热处理过程中一直保持压紧刀具基体,同时利用均热式夹
一种锯片基体加压热处理方法.pdf
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一种热处理设备及其处理晶圆的方法.pdf
本发明实施例公开了一种热处理设备及其处理晶圆的方法,该热处理设备包括:炉体;横置在所述炉体内部的炉管,所述炉管的管口具有可拆卸密封盖且用于作为装入晶圆的入口,所述炉管的管尾作为输气口用于接收外部充气设备输入的氢气,所述炉管的管侧设置有排气管;与所述炉管的排气管连接的气体处理部件,用于对传输至所述排气管的炉管内过量气体进行处理并排出至所述炉体外。本发明中热处理设备的炉管结构及气体处理部件的配套使用,确保了氢气处理过程的安全性,以及该热处理设备采用纯氢工艺替代现有的氮气工艺,改善了晶圆表面态、降低了晶圆表面漏
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