一种单晶炉用炭素材料组合坩埚.pdf

一种单晶炉用炭素材料组合坩埚，包括由炭-炭复合材料或石墨材料制成的组合坩埚埚体，所述组合坩埚埚体包括埚筒(1)、埚碗(2)、埚托(3)，所述埚筒(1)为圆筒状，所述埚碗(2)底部设有圆孔，埚碗(2)由至少2瓣埚碗构件组成；所述埚托(3)中间设有与埚碗(2)底部圆孔相适配的凸台，凸台上设有与石英坩埚相适配的凹圆弧，埚碗(2)装配在埚托(3)上，埚筒(1)装配在埚碗(2)上沿，埚筒(1)的底端与埚碗(2)上部搭接。本发明结构简单，操作方便，能有效地减轻去除石英埚残体时对组合坩埚的损伤，延长了组合坩埚的使用寿命

2023-06-19

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一种单晶炉用石墨坩埚.pdf

本发明涉及一种单晶炉用石墨坩埚，具有本体；所述本体包括圆柱形的侧壁和半球形的底部；所述本体由三瓣块体组成；所述侧壁的外表面等距设有环形的凸台和凹槽，凸台和凹槽间隔分布。本发明传热效率高、加热迅速且节约能耗。

2023-06-19

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一种组合式坩埚及利用该坩埚的单晶炉.pdf

本发明公开了一种组合式坩埚及利用该坩埚的单晶炉，涉及单晶硅制造技术领域。本发明包括套设于石英坩埚外部的内坩埚以及用于对内坩埚进行兜覆的网状坩埚，内坩埚采用石墨坩埚、碳碳坩埚或陶瓷坩埚；网状坩埚与内坩埚之间采用网兜限位结构或通过石墨胶相粘接；网状坩埚是由一根或多根碳纤维绳编织形成的对石墨、碳碳或陶瓷坩埚进行兜覆的中空网状体。本发明与原有大厚度的石墨、碳碳或陶瓷坩埚相比，腐蚀损坏后的更换成本低；网状坩埚能够保持石墨、碳碳或陶瓷坩埚的强度和稳定结构；由于厚度减小，产品的热传导效率更高，加热和冷却效率提升，能耗降

2023-06-15

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一种单晶炉坩埚.pdf

本发明涉及一种单晶炉坩埚，它包括坩埚底座、坩埚圆筒壁和埚盖，所述坩埚圆筒壁至少由一段圆筒壁本体组成，在所述坩埚底座底部设有定位口，在所述坩埚底座顶部设有底座凸边，在所述坩埚圆筒壁底部设有筒壁凹口，所述坩埚底座和坩埚圆筒壁通过底座凸边和筒壁凹口定位连接，在所述坩埚圆筒壁顶部设有筒壁凸边，在所述埚盖底部设有埚盖凹口，所述坩埚圆筒壁和埚盖通过筒壁凸边和埚盖凹口定位连接，所述坩埚底座、每段圆筒壁本体和埚盖的高度比为2：3：2。本发明为分体式结构，使用灵活。

2023-06-18

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一种单晶炉坩埚托盘.pdf

本发明公开了一种坩埚托盘，包括托盘主体，所述托盘主体的底部设有环形凸起，所述环形凸起下设有托杆，所述环形凸起直径等于托盘本体底部直径，所述环形凸起的直径大于托杆的直径，所述环形凸起的直径等于250mm，所述托杆的直径等于80mm。

2023-06-17

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