一种单晶炉用石墨坩埚.pdf
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一种单晶炉用石墨坩埚.pdf
本发明涉及一种单晶炉用石墨坩埚,具有本体;所述本体包括圆柱形的侧壁和半球形的底部;所述本体由三瓣块体组成;所述侧壁的外表面等距设有环形的凸台和凹槽,凸台和凹槽间隔分布。本发明传热效率高、加热迅速且节约能耗。
用于单晶炉的石墨坩埚.pdf
本发明公开了一种能够提高单晶硅纯度的用于单晶炉的石墨坩埚。该石墨坩埚,包括锅壁与锅底,所述锅壁上设置有多个沿壁厚方向贯穿锅壁的排渣孔。通过设置排渣孔,使得从石英坩埚毛面脱落的二氧化硅颗粒在高速惰性气体的裹带下,会直接从排渣孔中排出,然后从单晶炉炉体底部设置的抽气孔排出,能够有效防止脱落的二氧化硅颗粒沿着石英坩埚与石墨坩埚之间的缝隙向上冲出后掉落至石英坩埚内,进而避免最后生产出来的单晶硅存在二氧化硅的杂质颗粒,能够大大提高单晶硅的纯度,使其达到生产要求。将锅壁设置成整体式结构,可以减少二氧化硅颗粒对石墨坩埚
直拉单晶炉石墨坩埚.pdf
本发明涉及一种直拉单晶炉石墨坩埚,包括石墨坩埚本体,在所述石墨坩埚本体的侧壁上设置有至少一个贯穿所述石墨坩埚本体壁厚的第一通孔,在每个所述第一通孔中插入一个石墨环,在所述石墨环的中心再开有贯穿的第二通孔。直拉单晶炉内的硅料在加热时产生的气体可以从第二通孔里跑出来,这样,就可以避免一氧化硅对石墨坩埚各瓣接缝处的侵蚀,而使接缝处变形,在石墨环因为长期有气体从中穿过而变形后,只需要将石墨环敲掉,重新换一个即可,此时,石墨坩埚还可以继续使用,可延长石墨坩埚的寿命一至两倍,大幅度降低生产成本。
一种直拉单晶炉热场用石墨坩埚.pdf
本发明公开了一种直拉单晶炉热场用石墨坩埚,该石墨坩埚由多个埚瓣组装而成,每个埚瓣在其拐角位置内壁设有暗槽,该暗槽内设有拐角块。采用本发明可以避免石墨坩埚埚瓣接缝处出现腐蚀开裂造成整个坩埚的报废,仅仅在石墨坩埚埚瓣接缝处出现腐蚀变薄后进行拐角块的更换即可解决问题,有效的延长坩埚寿命,减少了坩埚长时间使用可能带来的风险。
单晶炉的石墨坩埚及其制造方法、坩埚组件和单晶炉.pdf
本发明公开了一种单晶炉的石墨坩埚及其制造方法、坩埚组件和单晶炉,石墨坩埚包括本体,本体为石墨件且限定出盛放腔,盛放腔的壁面上具有开凿部,开凿部处形成有凹槽,凹槽沿本体的周向延伸以形成为环形结构,其中,对坩埚半成品、与坩埚半成品适配的石英坩埚以及盛装于石英坩埚内的熔汤进行热场模拟,得到熔汤的高温区的等温线,在本体的纵截面上,凹槽的形状适于与等温线的部分的形状相一致,坩埚半成品构造成在坩埚半成品的内壁面上加工出凹槽以形成本体,高温区的温度高于熔汤的其余任一区域的温度。根据本发明的单晶炉的石墨坩埚,可以降低熔汤