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一种直拉硅单晶炉平底导流筒.pdf
2023-06-16
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戊午****jj
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一种直拉硅单晶炉平底导流筒.pdf
本发明提供一种直拉硅单晶炉平底导流筒，包括导流筒侧壁部、导流筒过渡部和导流筒平底部，导流筒侧壁部、导流筒过渡部与导流筒平底部依次连接，其中，导流筒侧壁部、导流筒过渡部与导流筒平底部均为环状结构，导流筒平底部的直径小于导流筒侧壁部的直径，且导流筒平底部与导流筒侧壁部同轴线设置，以便减小硅溶液液面与导流筒之间的间隙。本发明的有益效果是具有导流筒平底部，导流筒与液面缝隙降少，气体流速加快，可快速带走挥发出的氧，可有效降低大尺寸单晶氧含量，提升大尺寸单晶品质。
2023-06-16
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一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法.pdf
一种直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒及其制备方法，该直拉硅单晶炉用固化炭毡整体导流筒包括导流筒耳部（1）、导流筒锥形筒部（2）及表面涂层（3）。其制备方法包括以下步骤：(1)设计和制造导流筒胎具；(2)设计炭毡的形状和尺寸；并据此尺寸裁剪下料；(3)坯体制备；(4)坯体固化；(5)坯体炭化；（6）机加工坯体及组装；（7）表面涂层；（8）涂层固化；（9）化学气相沉积强化处理；（10）高温纯化处理。本发明固化炭毡整体导流筒，能有效地提高整体导流筒在高温使用过程中的保温性能，降低功率节约能耗约10%，降低拉晶成
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一种直拉硅单晶用石墨导流筒基体强化及表面涂层的方法，包括以下步骤：（1）表面预处理；（2）采用碳氢气体进行化学气相沉积，强化基体；（3）按质量配比碳化硅粉∶硅粉∶溶剂=1∶（3～5）∶（6～8）的比例将各原料混合，搅拌均匀，得浆料；将所得浆料均匀涂覆于石墨导流筒表面，涂覆厚度30～50μm，然后置入固化炉中进行烘烤处理；（4）将石墨导流筒置于高温炉中进行原位反应，制得SiC外层；（5）将石墨导流筒置于化学气相沉积炉内，采用碳氢气体进行化学气相沉积。利用本发明，能有效地提高石墨导流筒在高温使用过程中的强度，
2023-06-20
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本发明涉及单晶硅生产技术领域，提供直拉硅单晶炉，包括：炉体；坩埚，位于所述炉体内部；籽晶杆，位于炉体内部，籽晶杆沿着自身轴向相对坩埚可升降，且在转动状态籽晶杆以设定转速差相对坩埚沿着同一方向转动。本发明的拉硅单晶炉，由于坩埚与籽晶杆朝着同一方向转动，进而可以在坩埚和籽晶杆均具有高转速的情况下，将坩埚与籽晶杆的转速差控制在合理的范围内，保证拉晶更高效和更高质量的完成。其中，转速差可以视具体情况而定，一般转速差过大或者过小都不利于拉晶的质量和效率。其中，坩埚具有高转速的情况下，熔融硅内部可以产生较大的离心力，
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