一种用于重掺硼或磷直拉硅单晶掺杂装置和掺杂方法.pdf

本发明涉及一种用于重掺硼或磷直拉硅单晶掺杂装置和掺杂方法，掺杂装置由耐高温石英玻璃制成阶梯型倒置杯状体，从上到下分为固定腔、置放腔、扩散腔三部分，固定腔、置放腔为直径较小的圆筒部分，固定腔顶部四周留有数个小孔用于与直拉硅单晶生长炉内的挂钩连接，置放腔与固定腔之间有一块石英玻璃片相隔绝，扩散腔(3)为直径稍大于固定腔、置放腔直径的开口圆筒，置放腔和扩散腔(3)连接部位有三个L型卡槽，用于固定嵌入的硅片；掺杂时，将掺杂元素置于置放腔内，插入一薄硅片使置放腔和扩散腔隔开，将置放腔和扩散腔都浸入直拉硅单晶炉的熔体

2023-06-19

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直拉硅单晶的掺杂装置及方法.pdf

一种用于直拉硅单晶的掺杂装置及方法，属于直拉法生产单晶硅设备技术领域，包括石英内胆、石英钟罩和石英杯，在石英钟罩内设置石英内胆，石英杯内置于石英内胆，在内胆本体的上端从上而下依次盖合有第一石英盖、第二石英盖，第一石英盖与第二石英盖之间形成排气腔，第二石英盖上设置有第一通气孔，第一通气孔上垂直安装有调压管，排气片盖合在第一通气孔上，在内胆本体的环壁上设有第二通气孔，第二通气孔位于所述第一石英盖与第二石英盖之间，在掺杂过程中，通过排气片、调压管及通气孔可调节石英内胆内的压力，避免冒泡现象的产生，减少掺杂剂的挥

2023-06-15

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一种直拉硅单晶的镓元素掺杂装置及其掺杂方法.pdf

本发明公开了一种直拉硅单晶的镓元素掺杂装置，包括具有底部掺杂孔的掺杂杯，所述掺杂杯上设有悬挂结构，悬挂结构上设有与提拉夹头相匹配的吊杆；所述掺杂杯的材质为熔点高于硅且不易与熔硅反应的材质；所述掺杂孔内填充有固化的熔硅。本发明还提供了使用上述掺杂装置的直拉硅单晶的镓元素掺杂方法，其中使用前用熔硅封住掺杂杯底部掺杂孔；使用时下降掺杂杯至液面下3～8mm，浸没掺杂孔，待封住掺杂孔的硅料熔化，镓元素将沿着掺杂孔流向熔硅。本发明镓元素掺杂装置能够实现多次重复使用，在实现掺杂后，充分利用熔硅特点和单晶炉内温度分布特点

2023-06-20

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一种重掺锑硅单晶中锑元素掺杂的方法及掺杂装置.pdf

本发明提供一种重掺锑硅单晶中锑元素掺杂的方法及掺杂装置。掺杂装置包括石英外罩和内载料漏斗，内载料漏斗材质选用在石墨基体上镀碳化硅涂层，内载料漏斗设置在石英外罩内部。漏斗的斗盖为配重盖，斗体下部是细长圆柱。使用时，掺杂装置通过石英外罩罩系上的连接孔放置到单晶炉内，载料漏斗下部细长圆柱部分浸入硅熔体中，随着漏斗内锑元素不断向硅熔体中掺入，漏斗内锑元素量减少，漏斗的配重盖沿着导轨下滑直到所有锑单质全部进入熔硅。由于整个掺杂过程斗体的细长圆柱部分始终处于硅熔体中，避免了锑蒸汽被炉内的氩气流吹走而造成损失。锑元素的

2023-06-15

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2015100836732磷砷锑共掺杂的N型重掺直拉硅单晶及其硅外延片.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号CN104711675B(45)授权公告日2017.11.10(21)申请号201510083673.2C30B15/04(2006.01)(22)申请日2015.02.16(56)对比文件(65)同一申请的已公布的文献号CN103247576A,2013.08.14,申请公布号CN104711675ACN101110356A,2008.01.23,JP特开2005-79134A,2005.03.24,(43)申请公布日2015.06.

2024-08-17

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